"集成电路制造工艺"课程教学引导研究

本文研究了如何有序变化地设计组织课堂教学,结合多种方法,上好理论性很强的高职学院 "集成电路制造工艺"课程.创新出表格式阐述,如口诀来帮助理解记忆;进行集成电路制造工艺交互任务设计并分组实施.同时结合交互式教学课件等资料,开展动态教学.     

圆球微腔对水蒸汽的敏感特性仿真实验研究

研究了圆球微腔在水蒸汽传感中应用的可行性。通过测试在有/无水蒸汽的气室环境下,圆球微腔透射光谱的变化来对气室水蒸汽浓度情况进行传感测试。仿真实验结果显示:在有无水蒸汽干扰的条件下系统输出光强有明显的变化,即研制基于圆球微腔的传感器是可行的。     

MEMS悬臂式开关的失效分析

介绍了一种表面微机械系统开关,悬臂材料为Au/SiOxNy/Au铬金作为电欧姆接触.用静电激励(激励电压为13 V)方式,测试其隔离度.获得结果为微机械开关在1～40 GHz的范围内隔离度可高达35 dB.我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命.结果寿命接近105,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理.     

微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究

对新型微纳流控结构进行了分析,对相关材料进行了改进设想,对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究,并给出了实体照片反映其生长机理;从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析,并给出了相关模拟结果.     

MEMS低温圆片级键合密封工艺研究

研究了一种使用非光敏苯并环丁烯(BCB)材料的低温硅片级键合,并将其用于压力谐振传感器封装.采用AP3000作为BCB中的黏结促进剂,将谐振片与硅片或Pyrex 7740玻璃晶圆键合,程序简单,低成本,密封性能较高,且键合温度低于250℃.通过拉伸实验,这种键合的剪切强度高于40 MPa.所以此硅片级键合适用于压力传感器的封装.     

长三角区域都市文化生态圈构建研究

随着长三角地区经济社会逐步走向一体化,其文化整合日益受到关注。本文研究了这一地区的文化起源、文化生态及其交互影响,主张推动长三角地区文化交流与合作,构筑共同繁荣的长三角都市文化生态系统（文化生态圈）,同时提倡发展多样性、个性化的城市历史特色文化。     

低阻硅衬底上形成的低损耗共平面波导传输线

在厚膜多孔硅 (PS) /氧化多孔硅 (OPS)衬底上 ,结合聚酰亚胺涂层改善表面 ,研制低损耗、高性能射频 (RF) /微波 (MW)共平面波导CPW(CoplanarWaveguide) .通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜 ,并对其上的CPW进行分析比较 ,厚膜PS与石英的共面波导插入损耗非常接近 ,远小于在 2 0 0 0Ω·cm高阻硅上形成的多晶硅 -氧化硅组合衬底 :在 0 33GHz范围 ,插入损耗小于 5dB/ 1.2cm ;33 4 0GHz范围 ,小于 7.5dB/ 1.2cm .     

基于ANSYS悬臂式RF MEMS开关的力学模拟和疲劳分析

用ANSYS软件对RF MEMS接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸和电极面积的关系.在力电耦合分析的基础上对开关进行了疲劳特性分析,得出了开关的循环使用次数并与实验结果进行了比较,分析了数据差别比较大的原因,改进了测试开关寿命的方法.     

新功能材料微波与流控MEMS模拟与实践

理论分析与MEMS功能极为相关的多孔材料的若干特性；用系统的理论支持了多孔材料之引入；设计了一个微纳流控MEMS结构；研究微波／毫米波移相器的制备，给出了制备实图；然后阐述了典型结构功能分析与有限元方法结合的实践和解释，用ANSYS软件进行了模拟和比较，最后得出了有关结论。