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赵忆王家畴陈方李昕欣 《微纳电子技术》2015,(6):390-395
介绍了一种新型单片集成电容式三轴微加速度计的加工方法,该方法采用非绝缘体上硅(SOI)的单硅片单面加工技术,易于与IC工艺兼容,而且成本低廉,成品率高,适用于批量生产,可替代传统的SOI工艺。该方法主要利用硅深度反应离子刻蚀(DRIE)技术结合普通(111)单晶硅片内部可选择性横向自停止腐蚀技术制作并释放得到悬浮可动的敏感结构。此外,创新的锚点设计不仅使检测电极之间相互电学隔离,而且便于引线键合与封装。最后基于开环接口电路对加工制造的三轴加速度计进行了测试,验证了该工艺的可行性。 相似文献
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AQM(主动队列管理)通过在拥塞的早期阶段丢包来告知信源。AQM改进了响应流(如TCP)和非响应流(如UDP)之间的公平性,它可以带来较高的吞吐量及有效的链路。提出了可变队列长度适应RED算法,它基于每小时的可变队列长度,并且可以更有效地应对突发流。如果将当前可变队列长度与RED及ARED相比,这种方法可以提供更为平缓的平均度列长度。试验结果表明,可变队列长度适应RED比弃尾法提高了公平性,与ARED比较性能也大为改观。这样即使有突发流存在,也可以使数据包稳定地传输。 相似文献
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针对国有集团下属单位在进行企业文化落地建设时,如何兼顾集团的统一要求和本企业的文化特色,并有效识别影响企业文化落地关键因素的问题,通过对我国多家开展企业文化落地建设的国有集团下属单位进行调研访谈,采用构建扎根理论和模糊综合评价相结合的方法,提出了国有集团下属单位企业文化落地建设( NSUECC)绩效的影响因素集;最后利于FCA方法进行影响因素的评价分析,得到六大核心因素.研究结论为国有下属单位优化企业文化建设流程、识别关键因素、明确企业文化建设重点、提高企业文化建设效果提供了理论指导. 相似文献
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一系列重大皇家祭天遗址的考古发现,表明以“文化考古”为主的各类天文遗址景观是观察人类文化与信仰的直接证据。为探究皇家祭天遗址所反映的空间特征与文化特征,通过对皇家祭天场所进行分类、探源,总结“郊”“丘”“坛”等祭祀形式的发展与演变趋势。以北魏时期蜈蚣坝圜丘遗址为例,通过景观考古学的“遗址还原—信息解读—特征归纳”研究方法,借助ArcGIS、Global Mapper软件与卫星影像图,直观地呈现空间环境、遗址结构和社会关系。发现圜丘遗址是边疆山脉和北魏六镇城池防御系统的重要部分,并且圜丘遗址作为祭祀场所,不仅兼具宏大、粗犷的北魏景观特征与鲜卑民族特色,还蕴含“天圆地方”“天人合一”等原始宇宙观与环境观。进而总结遗址本体与多层级社会及环境结构的关系,以期为未来大遗址系统保护研究提供参考。 相似文献
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