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文章论述了工程机械液压系统油污染的途径和原因;液压油污染对液压系统的危害;阐述了提高工程机械液压系统清洁度的主要措施。 相似文献
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对电力调度自动化系统的优势、影响因素、防护依据以及相关的防护措施这四大方面的基本内容做出了较为详细的分析与阐述,并据此论证了这种安全防护在整个电力安全运行中所起到的至关重要的作用. 相似文献
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分步重复投影光刻机同轴对准系统 总被引:7,自引:0,他引:7
对投影光刻机同轴对准系统进行了理论分析,阐述了系统的成象机理和工作过程,并在整机上检测了同轴对准系统的重复精度。该系统在掩模和硅片均刻有对准光栅标记,对光栅衍射后形成干涉信号,使对准信噪比大大提高,并实现了掩模和硅片之间的直接对准,同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制,由电路实施解调,提供了一种保持高信噪比,又使弱信号探测不降低精度的对准方案。该系统可适用于各种硅片衬底,工艺适应能力强 相似文献
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