使用二只150瓦卤灯快速退火4英寸硅片

我们介绍了一种非常简单的退火系统。这个系统仅使用二只150W卤灯对硅片进行扫描处理。电学和结构测量表明,在无任何明显扩散而又能对晶格损伤进行良好恢复的情况下,就可使注入杂质全部激活。而且满足二个关键工艺要求:从硅片的一边到另一边薄层电阻的均匀性很高(标准偏移3.5％);没有引起硅片翘曲。     

用卤灯扫描系统在绝缘衬底上制备硅厚膜

我们介绍了一种在绝缘衬底上制备硅厚膜的技术。我们的做法是,先在制备有SiO_2条形图形的硅片上用传统的方法沉积—层薄的多晶硅膜。然后用聚焦卤灯的光能使衬底的表面部分融化。融化的深度受硅融化时条形SiO_2下陷深度控制。随着扫描融化区域,硅就在前沿固化,于是就在衬底上得到一些被籽晶区隔开的20～/40μm厚的SiO_2上的条形无缺陷硅膜。     

凉州风情国规划探索研究

以凉州风情园为例对“民俗类游园”规划进行理论研究和规划实践，在对武威市特有的历史人文旅游资源全面分析以及SWOT分析的基础上，提出了符合凉州风情园建设的规划设计构想、规划结构，并根据当地的实际情况制订了规划实施的保障措施。     

凉州风情园规划探索研究

以凉州风情园为例对"民俗类游园"规划进行理论研究和规划实践,在对武威市特有的历史人文旅游资源全面分析以及SWOT分析的基础上,提出了符合凉州风情园建设的规划设计构想、规划结构,并根据当地的实际情况制订了规划实施的保障措施.     

产业空间引导下特色小镇规划策略研究——以沈阳特色小镇规划为例

在借鉴国内成功特色小镇规划建设基础上,围绕"创新、协调、绿色、开放、共享"的发展理念,按照"理资源、定梯次、分类型、重引导"的方法,分析沈阳特色小镇总体面临的"强中心、弱乡镇"的城乡二元结构特征,并针对特征及问题,提出特色小镇总体发展策略和分类引导策略。     

基于站城一体化理念的地铁综合体规划方法研究——以沈阳市滂江街地铁综合体为例

借鉴国内外地铁综合体规划建设理论及实践经验,以沈阳地铁建设为契机,针对滂江街地铁综合体项目开发建设存在的问题,基于站城一体化的规划理念,对地铁站点周边双重空间尺度展开研究,提出明确站点类型、确定站点周边地区功能定位、优化站点地区开发模式、构建一体化空间体系、完善一体化交通换乘系统、打造融合型城市景观、创建协同规划与运营保障机制的地铁综合体规划方法。     

“景村一体化”理念下旅游型宜居乡村规划研究

正旅游型宜居乡村是推进城镇化,促进农村经济增长,提升农民生活品质,解决农业、农村、农民问题的重要途径,也是新型城镇化建设的重要组成部分。基于"景村一体化"理念,研究从沈阳马耳山风景旅游大区域的视角,结合乡村特色旅游资源,在充分考虑村民主体的多元化利益诉求下,探求乡村地域文化挖掘、旅游特色产品开发、旅游配套设施建设、乡村宜居建设、规划管理创新的途径,形成以景带村、以村兴景、景村一体、协同发展的互动模式,推动宜居乡村建设可持续发展。     

城市中心区地下空间开发利用模式探索

在对国内外城市地下空间开发理论和实践研究基础上,针对城市存量土地地下空间开发利用中存在的问题,从有效拓展城市空间、节约土地资源、提升城市功能角度出发,基于地下空间、开发功能一体化,分析大城市地下空间分布类型及共性特征,并结合沈阳市城市地下空间利用规划,探索城市地上、地下空间布局与区域功能协调关系,提出大城市中心区地下空间分类、分层、分区开发利用引导模式。     

“产业融合”视角下的现代农业示范区规划研究——以沈阳光辉现代农业示范区为例

正本研究基于蒲河生态经济带发展都市型现代农业的需求,以创建国家级现代农业示范区为目标,立足区域环境、资源等优势条件,针对发展问题,解读产业主导的现代农业示范区发展内涵,提出融合型"生态农业、特色小镇"核心理念,在区域视角下统筹研究发展思路、目标定位、生态构建、空间优化、产业提升、体制创新等内容,构     

差异化土地供给下养老设施规划探析——以沈阳市沈河区养老设施规划为例

人口老龄化对当前社会构成了严峻挑战,沈阳市老城区是深度老龄化和高龄化最严重的区域,呈失能化和空巢化发展趋势。本研究针对沈阳市老城区内老龄化问题最突出的沈河区,基于存量土地供给的差异化特征,提出老城区内养老设施规划的方法为明标准建体系、分层级优布局、梳资源筹空间、挖存量配设施、重实施强保障,构建设施规模适度、用地布局合理、功能多元需求、服务覆盖全区的养老设施体系,有效推进养老设施建设。