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1.
目前,国内用于硅外延工艺的超纯SiCl_4,通常都是采用精馏法提纯的.从原理上讲,精馏法是靠SiCl_4与各种杂质氯化物的沸点不同来实现精馏去杂的.(这种方法,是先将低沸点的氯化物放掉,再将SiCl_4逐步精馏出来,最后留下的是高沸点.)采用这种方法,对于去除绝大部分的金属杂质氯化物,特别是去除非极性的重金属杂质和避免试剂杂质的沾污,  相似文献   
2.
固体吸附法是提纯SiCl_4的一种极为有效的方法.它是根据化合物化学键的极性不同,通过化学吸附,实现SiCl_4同杂质分离的.采用这种方法,能够去除绝大部分的杂质氯化物,特别是去除FeCl_3、CuCl_2、AlCl_3、BCl_3、PCl_3等极性杂质的效果很显著.不足之处,是  相似文献   
3.
用固体吸附法提取超纯SiCl_4,同用石英精馏塔提纯SiCl_4,其原理是不相同的.从原理上讲,精馏法是靠SiCl_4与各种杂质氯化物的沸点不同来实现分离的.先将低沸点的氯化物放掉,再将SiCl_4逐步精馏出来,最后留下的是高沸点.此种方法,对于去除非极性的重金属氯化物,效果是显著的.但是,它对去除极性杂质氯化物,却表现了较大的局限性.例如,它对去除PCl_3、BCl_3、FeCl_3等杂质氯化物,就是比较困难的.原因是,这类极性杂质氯化物有可能形成络合物,它们的挥发度又是同SiCl_4接近的,即使再精馏多次也不能达到理想的效果.  相似文献   
4.
陆云山 《云南建材》2010,(12):51-52
本文结合本人在工程质量监督管理工作中的体会,主要指出了业主应在工程质量管理中起到积极促进作用,阐明了工程质量监督的要点及思路,同时,还提出了监督机构与检测机构联动的好处,以及监督站发挥政府主导作用的意义,可供同行参考。  相似文献   
5.
6.
对数字音频信号的回声数据隐藏技术进行了改进,应用人类听觉系统(HAS)的掩蔽效应对随机产生的回声更不易察觉的特点,将嵌入水印的回声用扩频方法作为其衰减系数,提高了音频数字水印的隐蔽性。实验表明该方法对多种攻击具有较好的抗干扰能力。  相似文献   
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