HF气相刻蚀技术及其在MEMS加速度计中的应用

本文介绍了一种用于微结构干法释放的HF气相刻蚀技术。通过调节工艺参数(包括腔体压力,HF流量,乙醇流量,氮气流量)研究其对二氧化硅刻蚀速率和均匀性的影响,得到刻蚀速率在500魡/min左右,均匀性5%左右的工艺菜单。该技术运用于MEMS加速度计中,成功实现了梳齿结构和质量块的无粘连释放。     

面向地表水水质监测的无人船系统设计与实现

研制了一套用于水质监测的无人船系统,系统由无人船、地面站和通信子系统组成。无人船可搭载水质传感器进行数据采集,地面站系统与无人船通过通信子系统进行信息实时交换,实现巡航路线的控制及监测数据的接收、储存、显示和查询等功能。实验结果表明,该系统易于操控、拓展性好,具有较高的实用价值。     

阴极保护金属防腐技术在电力行业中的应用

金属腐蚀引起的事故,是电力行业安全生产运行的大敌.阴极保护技术是电力行业中防止腐蚀事故的有效措施之一;本文讲述了阴极保防腐技术的原理和常用的两种方法;发电厂与变电所接地装置阴极保护的成功应用,显示了其良好的经济技术性,值得推广.     

沟道大电流感应n沟金属-氧化物-半导体场效应晶体管栅氧化层的加速击穿

本文研究n沟金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET’s)的栅氧化层的击穿特性。由于受导电沟道横向电场产生的沟道大电流的影响,MOSFET’s的栅氧化层的动态击穿场强远低于有相同栅氧化层的MOS电容器的静态击穿场强。耗尽型MOSFET’s的栅氧化层动态击穿场强主要由漏-源穿通电压决定,而增强型器件主要由深耗尽层击穿电压决定。无论是耗尽型还是增强型器件,栅电压在一定范围内增加时,栅氧化层动态击穿场强下降。     

薄板焊缝超声探伤中的探头参数选择

从薄板焊缝超声探伤的实际情况出发，通过对探头声场特性的定量分析和实验，得出一些探冰参数选择的经验。     

压力管道未焊透缺陷安全评定分析

为进一步加强对压力管道的安全监察，确保压力管道的安全运行，根据国家质检总局《压力管道使用证登记管理规则》和《在用工业管道定期检验规程（试行）》的要求，各地都在努力开展对在用压力管道的定期检验工作。，由于以前的工作中压力管道没被纳入安全监察范围，管道的安装和焊接质量没能得到有效的监督。在压力管道定期检验中，时常发现存在焊接接头未焊透现象。通过对某单位压力管道未焊透缺陷进行评级分析，本文依据《在用工业管道定期检验规程（试行）》对该未焊透缺陷进行安全等级评定是可以接受的。     

再加热炉燃烧控制系统

以攀钢集团成都钢铁厂318轧管厂再加热炉为研究对象,从炉温检测系统、炉温调节系统及用户程序三方面介绍了该再加热炉比例式燃烧控制系统,以及与常规双交叉燃烧控制系统的区别。针对该种燃烧控制系统及不同的外部干扰因素,编制控制程序时采取了一些相应措施,可将炉温有效地控制在设定值±5℃范围内,并在炉温大幅偏离设定温度值时,能够在短时间内将炉温重新稳定在设定值,而不会出现大幅振荡。比例式燃烧控制系统具有控制灵活、准确度高、可有效提高生产效率及降低劳动强度等特点。     

离心机筛蓝制造的工艺控制

介绍了双相不锈钢材料制造离心机筛蓝的结构特点,在筛蓝制造过程中,如果用常规的加工方法进行制造,容易出现制造各环节的加工偏差累积大于加工余量,导致尺寸超差,达不到图样要求的加工精度;针对制造过程中发现的问题,从制造工艺过程各个环节进行分析,提出了相应的改进和控制的措施,保证产品的加工质量,通过实践,得到满意的效果。     

离心机筛篮身层状撕裂原因分析

采用金相显微镜观察S32205双相不锈钢层状撕裂缺陷,通过夹杂物和微观组织分析,结合硬度检测结果,探讨了双相不锈钢板材厚度方向(即Z向)裂纹缺陷的形成原因。结果表明,S32205双相不锈钢层状撕裂是由于存在σ相或夹杂物,且硬度偏高,降低了钢板的塑性、韧性,当板材Z向受拘束应力作用下引起开裂。根据上述原因提出了相应的改进措施。     

500 kV同塔多回输电线路技术及其推广应用

文章从我国近20年输电技术的发展情况,简述了500kV同塔双回输电工程发展概况,分析了我国500kV同塔多回输电线路技术,以及可能采用的输电技术推广应用的前景.