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研究分析了批量生产的压力敏感元件薄硅膜的形成。就其腐蚀速率及生成的表面光洁度,比较了几种各项异性硅腐蚀剂。发现氢氧化钾和乙二胺邻苯二酚组合液最适用于敏感元件的要求。V形槽技术和硼中止腐蚀技术都能够把薄膜控制到1微米或更小范围内,最后磨抛成的硅片的锥度是离散性的主要根源。用有限差分数字求解法,分析研究了几种不同工艺过程所形成的薄膜的不规则性对压阻式和电容式结构的压力灵敏度的影响。这些结构中,薄膜厚度是影响压力灵敏度最主要的参数。与此同时,压阻式和电容式器件中,电阻和薄膜的对准及电容板间的间隙分别是第二个重要参数。 相似文献
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对图书馆标志设计的构想 总被引:4,自引:4,他引:0
从图书馆标志要结合塑造图书馆形象出发,提出了设计图书馆标志的问题.具体论述了图书馆标志的设计意义、原则及要求. 相似文献
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西北某车辆厂含油废水为达到回用水要求,需对其进行深度处理。混凝作为预处理,其效果好坏直接影响气浮及精细过滤,为此进行了影响混凝效果因素的正交试验。通过研究确定出适合该厂水质的混凝预处理控制条件为:混凝剂种类为PAC(I),投加量为30 mg/L,搅拌速度250 r/min,搅拌时间90 s,助凝剂用量为0.4 mg/L。使混凝后出水浊度、COD、油分别在4.5 NTU、55 mg/L、6.0 mg/L左右,与原来混凝后出水浊度10~26 NTU、COD60~92 mg/L、油7.4~10.6 mg/L相比有较大提高,为后续处理作了稳定可靠地保。 相似文献
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针对水体下近距离压煤开采难题和小跨度条采实践,着重探讨了小跨度条采的失败原因和小跨度控顶开采的技术途径,并论证了采用锚固窄煤柱群实行水体下近距离缓倾斜中厚煤层控顶开采的可行性。 相似文献
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应用谐振型功率转换电路,采用谐振型电流过零关断方式工作利用高频变压器,制作出一种小体积、重量轻的,可精密调节的高稳定度电源。 相似文献
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针对水体下近距离压煤开采难题和小跨度条采实践,着重探讨了小跨度条采的失败原因和小跨度控顶开采的技术途径,并论证了采用锚固窄煤柱群实行水体下近距离缓倾斜中厚煤层控顶开采的可行性。 相似文献
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在分析泉上煤矿三灰水害的基础上,详细地分析了三灰的异源补给,并初步确定出三灰的补给边界位置,提出了进一步查找补给边界、治理三灰水害的技术方案。 相似文献