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1.
形成SOI结构的ELO技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级,指出Br_2的引入有着重要意义.给出了Br_2和H_2对Si和SiO_2的腐蚀速率曲线,讨论了外延横向生长速率对SOI结构的材料表面形貌的影响.在该 SOI膜上制造了 MOS/SOI器件,其N沟最大电子迁移率为360cm~2/V.s(沟道掺杂浓度为 1×10~(16)/cm~3),源-漏截止电流为 9.4×10~(-10)A/μm. 相似文献
2.
对浙江红麻皮的化学成份和纤维形态进行了观察与分析,在此基础上,着重对其制浆、漂白、打浆性能进行了探讨,并与安徽红麻皮相比较,揭示了不同产地红麻皮制浆性能的差异,根据实验结果总结出浙江红麻皮适宜的制浆工艺. 相似文献
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采用PFI磨浆机和槽式打浆机对杨木APMP浆进行打浆,分别研究了不同浓度打浆对纤维形态及质量、成纸性能的影响。利用光学显微镜及纤维质量分析仪(FAQ)观测了纤维形态变化,分析了纤维的长度、卷曲、扭结等形态参数及细小纤维含量的变化。对两种不同浓度、磨浆方式下的高低游离度浆料进行配抄,与APMP生产线二段磨后浆料即成品浆料的成纸性能进行比较。结果表明,随着磨浆程度的提高,纤维长度下降,纤维卷曲指数与扭结指数先增加后下降,细小纤维含量增加。与槽式打浆成浆性能相比,PFI磨浆后纤维的切断少,纤维压溃变得比较显著,纤维分丝帚化优越,表现出了更好的纤维间结合能力。 相似文献
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10.
利用原位生长法制备了轻质碳酸钙(PCC)加填的植物纤维纸基(PCCP)/金属有机骨架化合物(MOFs,即Zn2(BTC)4,标记为LCP-1)复合材料(PCCP/LCP-1),探讨了PCC加填量对复合材料气体吸附性能的影响;采用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、热重分析仪(TGA)和氮气吸附法(BET)研究了LCP-1与植物纤维的键合方式以及复合材料的表面形貌、比表面积、热稳定性和吸附行为。结果表明,LCP-1与植物纤维之间以酯键结合,PCC加填量的增加可使纸张纤维网络体系暴露出更多的游离羟基,有利于提高LCP-1在PCCP表面的沉积率。此外,PCC的位阻效应降低了LCP-1在PCCP表面的生长空间,导致LCP-1尺寸变小。BET实验表明,与未添加PCC的复合材料相比,添加PCC可显著提高复合材料的吸附性能,且随着PCC加填量的增加,复合材料的氮气吸附量也逐渐提高。 相似文献