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在Ar-O2混合气氛中采用直流磁拉反应溅针沉积制得了氧化担薄膜。文章介绍了沉积薄膜的实验装置与工艺, 叙述了反应溅舫的过程与机理。用AES,XPS和X射线衍射研究了薄膜的成分与结晶结构, 用Ta2O5 薄膜研制成Si-MOS薄膜湿敏器件。测试结果表明, 这种新的湿敏器件具有高的灵敏度和非常快的响应速度。 相似文献
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采用动态焦散线实验方法和损伤破坏数值模拟,对平面模型中束状炮孔端部爆生裂纹 扩展规律和介质中拉/ 压损伤区进行了研究。实验结果表明,随着长径比的增大,爆生裂纹的 扩展长度增大,扩展角度减小,用于产生端部裂纹的爆炸能量增多,有利于炮孔端部区域岩石 破碎。当长径比为5/ 5时,裂纹扩展最大长度为55mm,裂纹扩展角约为90° ;长径比存在一定 值,即当长径比增加到20(30/ 15)时,爆生裂纹扩展长度较大,裂纹扩展角减小到 40° ,爆生 裂纹扩展速度和裂纹尖端应力强度因子整体为最大值;随着长径比的再次增加,扩展角不再变 化。数值模拟结果与实验结果一致,炮孔柱部区域形成小面积的“椭圆状”压缩损伤区,而炮 孔端部形成“X”形拉伸损伤区,容易形成爆生裂纹,拉伸损伤区半径约为压缩损伤区半径的 5倍 相似文献
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