一种谐振式加速度计的稳定性分析方法

谐振式加速度计的振动稳定性,是加速度计的重要性能指标之一,对测量精度和可靠性 有重要影响。 本文以谐振式加速度计敏感结构的振动稳定性为研究对象,研究其结构参数对谐 振梁振动稳定性的影响。 首先分析谐振式加速度的敏感机理,构建谐振梁动力学数学模型;利用 小参数摄动法求解谐振梁动力学数学模型的一般近似解,为谐振梁的振动稳定性提供理论基础; 针对2种典型轴向力,求得谐振梁动力学模型稳定性区间的过渡曲线,定量分析谐振梁振动稳定 性与加速度计结构参数之间的对应关系;依据稳定性分析结论对设计的加速度计进行1g 静态翻 滚验证实验。 研究结果表明,稳定性分析为优化设计加速度计结构参数提供有效的理论依据。