多晶硅薄膜厚度测量技术

介绍了多晶硅薄膜厚度测量的多种方法,并分析了它们的特点及存在问题,指出选择测量方法和仪器应注意的问题。     

低压化学气相淀积多晶硅薄膜工艺研究

在研制器件过程中，多晶硅制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了低压化学气相淀积（LPCVD）关键材料多晶硅薄膜的基本原理，考察了工作压力、反应温度等对多晶硅薄膜淀积速率的影响，以及影响多晶硅薄膜质量的因素，提出了改进措施，优化了多晶硅制备工艺参数，制备了合格的多晶硅薄膜。     

鞍山市对炉街边坡稳定性分析

2010年7、8月间,鞍山市降雨频繁,市区多处发生了崩塌、滑坡等地质灾害。采用极限平衡法、三维楔形体稳定分析方法,对鞍山市对炉街人工岩质边坡崩塌结构面及其滑动方向进行了计算,为类似地区的边坡治理提供了经验。     

大型豪华游艇结构振动分析与控制

通过有限单元法对某大型豪华游艇进行固有频率及强迫振动预测分析,发现上甲板左舷通往楼梯的走廊振动速度的峰值超标10%。经过频谱分析、局部结构模态分析,讨论振动的有效控制方法,通过修改局部结构以改变其固有模态、避免共振的方法进行局部结构的振动控制,使得该区域的振动情况得到有效控制,满足相关规范的要求。该研究为其他工程项目的振动控制提供一定的参考。     

泡沫混凝土的研究与应用现状

泡沫混凝土是目前比较先进的混凝土技术,而且应用的十分广泛。对泡沫混凝土的制备和生产工艺进行了全面的研究,介绍了影响泡沫混凝土性能的多种因素,分析了国外发泡剂的应用情况以及泡沫混凝土在国内外的应用情况,并对泡沫混凝土中存在的问题进行了相应的研究,以此全面提升泡沫混凝土自身的性能。     

低驱动电压k波段电容耦合式RFMEMS开关的设计

设计了一种低驱动电压的电容耦合式射频微机械(RF MEMS)开关.RF MEMS开关采用共面波导传输线,双电极驱动,悬空金属膜采用弹性折叠梁支撑.使用MEMS CAD软件CoventorWare、微波CAD软件HFSS,分别仿真了开关的力学性能和电磁性能,仿真结果表明:开关的驱动电压为2.5V,满足低驱动电压的设计目标;开关开态的插入损耗约为0.23 dB@20 GHz,关态的隔离度约为18.1 dB@20 GHz.最后给出了这种RF MEMS开关的微制造工艺.     

鞍山市对炉街边坡稳定性分析

2010年7、8月间,鞍山市降雨频繁,市区多处发生了崩塌、滑坡等地质灾害。采用极限平衡法、三维楔形体稳定分析方法,对鞍山市对炉街人工岩质边坡崩塌结构面及其滑动方向进行了计算,为类似地区的边坡治理提供了经验。     

微电子机械系统键合强度检测方法研究进展

把微电子机械系统键合强度检测分为传统分层检测方法、微结构检测方法和非破坏性检测方法,并逐一对这些方法进行细分和详细地描述。传统分层检测方法的难点是结构的夹持,而且不能实现在线监测;非破坏性检测方法检测范围有限,而且检测仪器较为复杂。微结构检测方法最适合于检测微小面积键合强度,该方法又分为微结构微力测试法和微结构在线检测方法两类,微结构微力测试法需要高精度的微力测试仪,而且也不能实现在线检测;微结构在线检测方法只需要一台带有显微镜的探针台,这些都是大部分微机电系统工艺线所具备的,它是一种在线检测方法,直接在晶圆片上进行检测,不需要进行划片,是目前微电子机械系统键合强度检测中最优检测方法。     

降雨型泥石流临界雨量定量分析

利用Logistic回归模型对当日雨量和前期有效降雨量进行回归分析,形成了一整套对降雨型泥石流临界雨量进行定量分析的方法,并在辽宁省岫岩县进行了试用。在收集灾害发生当日各雨量站点雨量数据的基础上,采用等值线法将点雨量转变成面雨量,从而获得灾害发生对应雨量,进而采用向前顺推的办法获得灾害未发生时所对应降雨量,并利用Logistic回归模型确定最佳雨量计算天数。然后,基于Logistic回归模型对灾害发生及未发生样本对应的当日雨量和前期有效降雨量进行回归分析,有效降雨量系数分别采用了经验值(0.84)和利用岫岩雨量、水文数据计算得到的实际数值(0.61)。分析结果表明,该方法具有较好的分类效果,可对于泥石流灾害做到了定量化预测,利用两种有效降雨量系数计算得到的结果都具有较好的预报效果。     

MEMS高g值加速度计力学分析

运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作.