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本提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极,共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成,采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹,相空间图和发射电流-电压等特性,并与只有栅极时的情况进行对比,表明反射极对电子注有会聚作用,能形成层流性良好的电子注,该结构可应用于场发射平面显示器等真空微电子器件中。 相似文献
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采用微波等离子体方法在铜片上沉积了多晶金刚石薄膜,用该薄膜制成的场致发射体的开启电压较低,发射电流密度较高。利用自制的场致发射阵列阴极高真空测试台测试了1~100mA/cm 相似文献
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本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极 (FEAs) ,它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成。采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流 电压等特性 ,并与只有栅极时的情况进行对比 ,表明反射极对电子注有会聚作用 ,能形成层流性良好的电子注 ,该结构可应用于场发射平面显示器等真空微电子器件中 相似文献
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