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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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