MOCVD—YBCO／Ag膜的显微组织

用ＸＲＤ、ＳＥＭ和ＥＤＳ研究了用三源分别蒸发和单溶液源超声雾化蒸发ＭＯＣＶＤ－ＹＢＣＯ／Ａｇ超导膜的显微组织和成分。两种工艺所制ＹＢＣＯ样品的ＴＣＯ为８８～９１Ｋ。静态沉积ＹＢＣＯ／Ａｇ膜的电流密度Ｊｃ高于动态沉积样品。其中单溶液源超声雾化ＭＯＣＶＤ－ＹＢＣＯ／Ａｇ膜的Ｉｃ和Ｊｃ最高达到３５８Ａ和２２×１０５Ａ／ｃｍ２（７７Ｋ，０Ｔ）。