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甲烷浓度对金刚石膜沉积质量的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在10kW微波等离子化学气相沉积装置中,采用甲烷和氢气作为气源,在直径为50mm的P型(100)单晶硅片上进行了不同甲烷浓度条件下金刚石薄膜的制备研究.利用扫描电子显微镜和激光Raman光谱仪对所制备的金刚石膜进行表征.结果表明:较高的甲烷浓度(2%,体积分数)虽然可以加快金刚石膜生长速率,但离解反应气体的能量相对减弱,晶粒尺寸较小;此时原子氢刻蚀作用也会较弱,非金刚石相含量增加,残留的杂质越来越多,金刚石纯度不高,薄膜的质量较差.随着甲烷浓度的降低,金刚石膜(100)晶面充分显现,薄膜质量逐渐变好.然而过低的甲烷浓度(0.5%,体积分数)会导致有利于金刚石生长的含碳活性基团含量降低,使金刚石膜生长缓慢,晶粒尺寸难以长大. 相似文献
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从热力学基本原理出发,研究了磁场中的汽液相平衡热力学,提出磁场中的相平衡条件.通过引入磁力势的概念,推导并建立了磁场中汽液相平衡热力学模型,从理论上探讨了外加磁场对汽液相平衡的影响. 相似文献
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分子蒸馏富集海狗油中多不饱和脂肪酸 总被引:5,自引:0,他引:5
海狗油中富含多不饱和脂肪酸,如二十碳五烯酸(EPA)、二十二碳五烯酸(DPA)、二十二碳六烯酸(DHA)等。用分子蒸馏法对海狗油中多不饱和脂肪酸进行富集,通过控制适宜的温度和压力等条件,得到较为满意的分离效果。当进料速率为80 mL/h,预热温度为80℃,刮膜器转速为250r/min,蒸馏温度为120℃,压力为15 Pa时,经过一级分子蒸馏,得到EPA、DPA和DHA的总含量为54.86%(质量分数)的海狗油产品,收率为92.7%,并用气相色谱法测定了产品的脂肪酸组成。 相似文献
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日本日产柴油汽车株式会社的上尾、群马等广,为适应多品种生产均采用了柔性制造工艺系统。在机床夹具方面广泛地采用气液转换器与气液增压器。这两种装置的应用,取代目前复杂的由液压泵组成的液压装置,结构简单、成本低、加之采用液压夹紧功能单元组件,易于实现夹具的柔性化和对多品种生产的适应性。本文就这两种装置介绍如下。 相似文献
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