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磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点,成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层,发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端,引入了先溅射后光刻的制作工艺,实验结果表明,该方法能成功制作出所需的电阻图形。 相似文献
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磨矿分级工艺的优化试验研究 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍武山铜矿通过磨矿分级工艺的优化试验,实现了单套磨矿系统处理能力达到3000t/d的要求,节约了磨矿成本,提高了选矿指标。 相似文献
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