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采用高氢稀硅烷热丝化学气相沉积方法制备氢化微晶硅薄膜。其结构特征用Raman谱,红外透射谱,小角X射线散射等来表征。结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比Xc随氢稀释度的提高而增加。而从红外谱计算得到氢含量则随氢稀释度的增加而减小。小角X射线散射结果表明薄膜致密度随氢稀释度的增加而增加。结合红外谱和小角X射线散射的结果讨论与比较了不同相结构下硅网络中H的增加而增加。结合红外谱和小角X射线散射的结果讨论与比较了不同相结构下硅网络中H的键合状态。认为随着晶化的发生和晶化程度的提高H逐渐移向晶粒表面,在硅薄膜中H的存在形式从以SiH为主向SiH2转变,即在微晶硅膜中主要以SiH2形式存在于晶粒的界面。 相似文献
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离散单元法能够分析节理裂隙岩体沿离散界面产生滑移、张裂、垮落等大变形问题,是岩石开挖工程中分析非连续介质问题的重要方法。徐东沟露天矿最终境界边坡上下部均由坚硬块状结构岩体组成,而边坡中部则为岩性较软的绿泥石英片岩构成,且为典型的顺坡向层状结构,分析表明,绿泥石英片岩构成的局部边坡区域位移较大,模拟开采至最终-348m水平时,水平位移最大达1.6m,垂直向下位移达1.4m,应用强度折减法得到边坡安全系数仅为1.05,开采出露后极有可能产生边坡失稳,影响矿山的安全生产。 相似文献
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荧光显微图像录井是录井行业近年来广泛应用的一项新技术,但由于不同油田、不同地区、不同油质储集层的图像特征各异,且量化解释评价难度大,其应用效果有一定的局限性。为了克服这种局限性,以大庆长垣以东地区扶杨油层为例,在统计分析的基础上,分别得出了不同沥青质及不同油质储集层的荧光显微图像定性识别特征;在分析反映荧光图像特征参数意义的基础上,结合主要特征参数的统计分析,提出了油质波长与发光面积之比和油质与胶质色差量化解释评价图板。实例分析表明,定性识别与量化解释评价图板结合应用效果良好,解释评价符合率接近90%;同时分析认为,该方法对于其他油田和地区的应用具有一定的参考价值。 相似文献
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微晶硅薄膜小角X射线散射研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用小角X射线散射(SAXS),Raman谱,红外透射谱等研究高氢稀硅烷热丝法(HWCVD)制备氢化微晶硅膜微结构,结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比随氢稀释度的提高而增加。SAXS表明薄膜致密度随氢衡释度的增加而增加。结合红外谱和SAXS的结果讨论了不同相结合下硅网络中H的键合状态。认为在非晶硅膜中H以SiH键为主,在微晶硅膜中H以SiH2为主且主要存在于晶粒的界面。 相似文献
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选择刻蚀在GaAs工艺中是非常重要的一步。由于湿法腐蚀存在钻蚀和选择性差,且精度难以控制,因此有必要进行干法刻蚀的研究。虽然采用反应离子刻蚀(RIE)、磁增强反应离子刻蚀(MERIE)可以进行选择刻蚀,但是这两种方法在挖槽时会对器件造成较大损伤,影响器件性能。感应耦合等离子刻蚀(ICP)是一种低损伤、高刻蚀速率高选择比的刻蚀方法,在GaAs器件的制造中有突出的优点。本工作进行GaAs/AlGaAs 相似文献
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以实际工程为例,通过实地调查旧路基本路况,分析了水泥路面加铺沥青面层的技术方案、原材料选用,重点研究了表面处理与面层施工工艺等.结果表明,从旧水泥路面上加铺沥青面层,能够有效控制施工成本,而且显著提高了路面稳定性、防水性以及抗滑性. 相似文献