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1.
微结构谐振梁式压力传感器研究 总被引:5,自引:0,他引:5
利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器,传感器的谐振器的品质因素Q值大于17000。采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,其压力测试范围为0 ̄400kPa,线性相关系数为0.99995,测试精度小于0。06%F.S。 相似文献
2.
随着我国水利事业的不断发展,国家对民生工程非常重视。农村饮水安全问题是关系到国计民生的大事,针对当前本地区农村饮水安全工程现状以及供水中存在的实际问题,采用适合本地区农村饮水安全工程实际的建设管理办法,从工程的规划设计、建设管理、竣工验收及后期管理制度的建设等方面进行了阐述。通过实践,为推进城乡供水一体化进程探索一条良好的途径。 相似文献
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4.
5.
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7.
基于谐振式MEMS传感器的仪表开发关键技术 总被引:1,自引:0,他引:1
针对基于谐振式MEMS传感器开发数字智能仪器仪表的高精度、快响应频率测量技术展开研究。以一谐振式MEMS气压传感器为开发样件,其差分输出是两路40~70 kHz之间的正弦频率信号。对传统的频率测量方法进行阐述分析,提出一种新的结合传统测频方法各自优点的频率检测方法。设计实现相关软、硬件,搭建测试系统,实验结果表明该测频方案针对40~70 kHz的频率信号误差小于±0.02 Hz,响应时间为1 s以内。 相似文献
8.
在微波技术研究中,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分,可应用于很多场合,如发射机输出功率(包括天线系统辐射的功率)和振荡器输出功率的测量,毫瓦计的校准,标准信号发生器的校准等。微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件。微梁结构热偶微波功率传感器选择具有低电阻温度系数的Ta2N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料,利用半导体工艺和NEMS工艺制作。器件获得了比薄膜结构更高的灵敏度,并且具有动态范围大、零点漂移小等特点,此结构已有多种形式。着重从理论上分析了MIS结构对该传感器灵敏度的影响,并提出了一种新的结构设计,以进一步提高器件性能。 相似文献
9.
在采用Si-玻璃阳极键合技术制备微惯性传感器的过程中,实验发现键合圆片中心区域键合失效。通过对键合机理和工艺过程进行分析,认为湿法腐蚀工艺引入钾离子(K+)污染是造成键合失效的主要原因,也可以对键合失效现象给出合理的解释。改变工艺参数进行了键合对比实验,结果表明,未受K+污染的键合圆片没有发生键合失效现象。提出了解决键合失效问题的两种方案,并首次提出在Si片表面生长氧化层提高失效区键合强度的方法;从理论上分析了增加SiO2介质层的可行性。强度测试结果表明,在SiO2厚度为150nm时,键合剪切强度达到14MPa,验证了方案的可靠性。利用上述方法制备出微加速度传感器敏感结构。 相似文献
10.