用于Cu互连阻挡层的非晶Ni-Al薄膜研究

以非晶Ni-Al薄膜作为Cu互连的阻挡层材料,采用射频磁控溅射法构架了Cu/Ni-Al/Si的异质结.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和四探针测试仪研究了不同温度下高真空退火样品的表面形貌、微观结构与输运性质.实验发现非晶Ni-Al薄膜在高达750℃的退火温度仍能保持非晶结构,各膜层之间没有明显的反应和互扩散存在,表明了非晶Ni-Al薄膜具有良好的阻挡效果,可以用作Cu互连的阻挡层材料.     

磁控溅射法制备用作铜互连阻挡层的钛-铝薄膜

采用射频磁控溅射法在Si(100)基片上首先沉积了厚度40 nm的非晶钛-铝薄膜,然后在其上又原位生长了厚度100 nm的铜薄膜,制备了铜膜/钛-铝膜/硅试样;对试样分别在400～800℃内进行真空退火处理,用原子力显微镜、X射线衍射仪、四探针测试仪对试样的表面形貌、结晶状态及方块电阻进行了分析.结果表明:当退火温度低于750℃时,试样表面平整,表面粗糙度和方块电阻均较小且基本不随退火温度的升高而改变,此时,非晶钛-铝薄膜能够起到阻挡铜向硅中扩散的作用;当退火温度在800℃时,试样的表面粗糙度和方块电阻急剧增大,此时,非晶钛-铝薄膜已经不能起到阻挡层的作用.     

数字化矿山的建设与实施

数字化矿山的建设是实现煤矿企业高产、高效、安全开采的有效途径,是煤炭企业未来的发展方向。东庞矿坚持数字化矿山建设的探索与实践,取得显著成效。文章从煤炭行业信息化建设现状入手,详细阐述了数字化矿山建设的基本构架和主要内容,最后介绍了东庞矿数字化矿山的建设进程。     

煤矿安全生产信息化建设

信息化建设的水平在一定程度上制约着煤矿安全生产工作的进行,因此,大力发展煤矿信息化建设是保障安全生产根本有效的途径。本章从安全生产信息化建设的基本概况入手,以东庞矿安全生产信息化建设的经验为例,总结了安全生产信息化建设的重要意义。