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A novel method to measure the temperature on the surface of micro-hotplate was presented. The tiny fiber probe and the optical power meter were employed to measure the sample radialization power. By means of comparing the relationship between the radialization power and the temperature, sample surface temperature can be discerned accurately. Such an approach has provided more accuracy than traditional temperature measurements. The experimental result based on this method is quite similar to that of simulation by the finite element analysis (FEA) software of Ansys in theory. This measurement is very useful for measuring temperature for these micro samples prone to be untouchable. 相似文献
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本文从热力学角度,通过计算机计算,研究了SiH_4—SiCl_4—H_2及SiH_4—IICl—H_2混合硅源气相生长硅晶体体系的平衡状态。给出了不同配比的混合硅源沉积硅的产率和产率随温度、压力等控制参数变化的图解。根据准平衡理论计算了混合源体系中硅的沉积速率,计算结果与有关实验数据具有一致性。我们还进一步提出了一系列有关混合硅源生长硅晶体工艺的参考意见。 相似文献