射频磁控溅射制备的柔性衬底ZnO∶Al透明导电薄膜的研究

用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出附着性好、电阻率低、透射率高的ＺｎＯ：Ａｌ透明导电膜。研究了薄膜的结构、电学和光学特性     

射频磁控溅射制备的柔性衬底ZnO:Al透明导电薄膜的研究

用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出附着性好、电阻率、透射率高的ＺｎＯ：Ａｌ透明导电膜。研究了薄膜的结构、电学和光学特性。