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1.
2.
Wafer curvature method has been applied to determine the internal stress in the films using Stoney’s equation. During the film deposition, the wafer fixation on the sample holder will restrict the deformation of the rectangle-shaped wafer, which may result in the stress datum difference along length and width direction. In this paper, the effect of wafer size and the wafer fixation on the TiN film internal stress measured by wafer curvature method was discussed. The rectangle-shaped wafers with different length/width ratios (L/W=1:1, 2:1, 3:1 and 4:1) were fixed as a cantilever beam. After the TiN films deposition, the profiles of the film/wafer were measured using a stylus profilometer and then the internal stress was calculated using the Stoney equation in the film. The results showed that the fixed end of the wafers limited to some degree the curvature of the wafers along the width direction. For film internal stress measured by wafer curvature method, the wafer profile should be scanned along the length direction and the scan distance should be greater than or equal to half of wafer length. When the length/width ratio of the wafer reached 3:1, the wafer curvature and the calculated stress were basically the same at different positions along the length direction. For film internal stress measured by wafer curvature method, it was recommended that the length/width ratio of wafer should be considered to be greater than or equal to 3:1, and the deformed profile was scanned along the length direction. 相似文献
3.
DirectSound声音编程接口技术探讨 总被引:2,自引:0,他引:2
本文结合笔者的开发使用实例,阐明DirectSound这一重要声音编程接 口的基本使用方法,具有普遍实用的意义。 相似文献
4.
基于MAX1457的传感器智能化温度补偿的实现 总被引:1,自引:0,他引:1
MAX1457是一种专用传感器信号处理器,它可以补偿硅压阻式传感器的温度误差和非线性误差,使传感器总的重复性精度达到0.2%以内。MAX1457对传感器进行温度补偿时需要经过一系列操作步骤和参数的选择计算。本文分析了MAX1457的工作原理和补偿过程。在此基础上开发的温度补偿软件,可以实现参数的自动计算,自动调整,补偿的每一个操作步骤均辅以向导式的提示。该系统的使用使得MAX1457对传感器的温度补偿过程大为简化。 相似文献
5.
6.
主要介绍了如何用Delphi语言调用MatLab引擎、Delphi和MatLab程序进行数据交换的方法。它可以使用Del phi语言开发的程序有更强的数据处理功能。 相似文献
7.
8.
将柔性管理引入到CDIO教学管理中,探讨柔性化激励机制、柔性化决策机制、柔性化评价机制、柔性化沟通机制的具体实施方案。并采用TRIZ理论理想化水平评估柔性化教学管理的理想化水平,通过问卷调研知识理解度、知识传授度、管理成本、资源的损害、管理方便性五个指标,计算出柔性化教学管理理想化水平大于1,表明柔性化教学管理效果较好,有较大的推广价值。 相似文献
9.
为了满足认知无线网络中认知用户的业务服务质量需求,提出了一种基于业务区分的多信道媒体接入协议(SD-MAC).根据授权用户的信道使用模型以及认知用户的业务类型,实时业务采用基于预约的接入机制,而非实时业务则通过采用基于竞争的接入算法实现信道共享.理论分析和仿真结果表明,所提出的MAC协议能够有效提高实时业务的吞吐率,保证较低的接入时延,从而有效地提升系统性能. 相似文献
10.
改革开放30年,给中国带来了翻天覆地的变化,中国的国际地位与日俱增。随着全方位的国际交流和商业流通,仅2007年,我国全年货物进出口总额就超过了21738亿美元,其中,货物出口12180亿美元;货物进口9558亿美元。 相似文献