H2稀释在PECVD法制备微晶硅薄膜中的影响

利用等离子增强化学气相沉积（PECVD）技术，研究了H稀释度D=H2／（H2＋Sill。）对在玻璃和不锈钢衬底上低温制备微晶硅薄膜的晶化率、晶粒尺寸、薄膜质量等的影响。结果表明，随着硅烷浓度的降低，样品的晶化率、晶粒尺寸有所改变。当D=99％时，晶粒突然变大，晶化率显著提高。因此，我们认为此时的硅薄膜由非晶硅转化为微晶硅。     

在卓越工程师计划中大学物理应力如何与专业相结合的研究

卓越工程师教育培养计划中提出基础课程要与专业相结合的办法培养学生创新能力和逻辑思维能力,同时应用型本科大学物理教学改革的重点之一是改革教学理念,优化、调整教学体系和内容．因此我们应敢于建立创新的教育观念,科学合理地选择教学内容,同时注重与学生专业相结合培养出高质量的工程技术创新型人才。