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本文对飞秒激光加工微纳器件半导体材料过程中的微观烧蚀机理进行了理论研究,基于试探粒子法,采用Fokker-Planck方程,建立了描述飞秒时间尺度内的电子非平衡态输运过程的理论模型,该模型屏弃了弛豫时间和激光吸收系数为常数的假设,给出了屏蔽coulomb势作用下电子输运的漂移系数与扩散系数表达式,考虑了电子逆韧致辐射机制对激光吸收系数的影响,通过数值模拟获得了自由电子非平衡态分布,并在此基础上计算了飞秒激光的烧蚀阀值,讨论了飞秒激光参数对烧蚀半导体材料的影响。 相似文献
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对高速精密水润滑电主轴关键技术进行综述.概述了水润滑电主轴的结构设计及冷却技术;详细评述了水润滑轴承的结构形式、节流技术、材料选择、静动态特性分析与测试技术以及轴向密封设计等轴承技术;最后介绍了水润滑电主轴国内外应用现状,并对该电主轴的技术发展趋势进行了展望. 相似文献
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以YS51200CNC插齿机主运动液压系统为研究对象,根据经典控制理论建立其控制阀数学模型,基于AMESim及Simulink软件建立液压系统联合仿真模型,并进行联合仿真分析。根据仿真结果,分析控制阀与液压缸间管道长度对液压系统响应特性的影响。利用PID调节器对伺服比例阀阀芯位置信号进行调节,有效地降低了系统的稳态误差,提高了系统的响应速度。 相似文献
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基于ANSYS有限元分析软件,建立了高速内圆磨床的工件主轴系统CAE分析模型,完成了边界条件分析与施加,进行了主轴系统稳态与瞬态温度场数值模拟。进一步以热.结构耦合产生的主轴端热变形量为目标,开展了散热筋的布局与结构参数对其热特性的灵敏度分析,研究结果表明:优化后的内圆磨床工件主轴系统的热特性得到了大幅提高。 相似文献
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利用整体传递矩阵法对机床主轴内外转子耦合系统的动力学建模方法进行了详细研究,并在此基础上计算出主轴系统的动力特性。与Prhol传递矩阵法相比,该法考虑了主轴和拉杆间的连接刚度,因此所建动力学模型更符合主轴系统实际情况,计算结果更可靠。计算过程同时表明该法计算简单、精度高且易于编程。文中还利用有限元法有效地解决了主轴双转子耦合刚度的计算问题。 相似文献
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磁轴承已广泛应用于飞轮储能技术中,但磁轴承建模时存在不确定性问题,采用常规方法整定的控制器难以保证其优良的稳定性和抑制扰动能力。研究基于状态空间的径向磁轴承参数不确定H∞控制,运用于磁轴承状态反馈控制器设计中,并借助于MATLAB仿真工具给出了不同情况下H∞控制的仿真波形。研究结果表明:在所考虑的刚度参数不确定性范围内,基于H∞理论的控制器具有较好的稳定性、鲁棒性和抑制扰动能力。 相似文献
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0 INTRODUCTIONForitssimpledesign,lightweightandgoodshockabsorbingcapability,squeezefilmdampershavebeenwideusedinaeroenginesandotherrotarymachinery.However,bistablestateisextremelyeasytooccurtocausesuddendramaticchangesineccentricityandtransferefficienc… 相似文献