半导体制程设备泄漏检测示踪气体技术应用研究

在半导体制程设备工作过程中,会使用许多有毒或可燃物质,因此需要进行设备泄漏检测。该检测使用示踪气体技术,目前普遍使用六氟化硫作为示踪气体,示踪气体注射的原则包括注射速率、控制精度、注射位置与方向等;取样原则要考虑潜在的最大泄漏点位置、判断浓度平衡时间、取样的时间与次数等;样品分析需要使用气相色谱仪。该泄漏测试技术层次清晰,细节较多。     

大封闭区域示踪气体混合均匀性数值模拟与试验对比

使用示踪气体技术检测大封闭区域的泄漏率,一个重要内容是示踪气体与空气的混合均匀性,采用数值模拟与试验对比方式进行研究,显示两种方法结果的拟合度较高,初步得出数值模拟结果可靠的结论;得出区域内流场和示踪气体的分布规律;在部分示踪气体沉积的地方,增加空气扰动设备,提高混合速率。     

密封容器混合气体充入方式的试验研究

以一密封容器为研究对象,采用氦检漏技术对3种不同充气方式进行试验研究,以确定气体混合均匀用时最短的充气方式,以期为该类实际工作提供指导.试验结果表明:采用3种充入方式,最终均可以实现整个空间内气体的混合均匀,但是所需时间不尽相同.当采用先充入N2、再充入He的方式时,静置2 h后,N2和He基本混合均匀;当采用先充入H...     

加强项目施工设备的有效管理

从项目设备的优化配置、租用设备的经济成本核算、设备的使用管理、目标责任考核四方面介绍了项目施工设备的有效管理方法，以充分发挥设备的资产效益，使工程项目取得较好的经济效益。