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介绍用于亚半微米分步重复投影曝光机的PSD调焦调平、激光干涉调信调平、多点高度测量传感和单光路多点检测等逐场调焦调平技术,较详细地阐述各技术原理、组成及能达到的精度、分析各种方法的优缺点和主要实用范围,为自主研制亚半微米分步重复投影曝光机的逐场调焦调平系统提供了参考方案。 相似文献
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【摘要】 目的 探讨肝癌患者行TACE术后感染的发生情况及影响因素。方法 回顾性调查 2016年1-12月行TACE手术的病例,分析TACE术后感染发生的可能危险因素,并对其进行单因素分析和Logistic 多因素回归分析,并将TACE 术后发生感染的相关因素进行风险分层,分为极高危、高危、中危和低危。结果 386例有效TACE手术病例发生术后感染 17例,发生率为4.4%。其中腹水、肝胆切除手术史或术前有肝癌破裂出血、肝脓肿史或既往TACE术后感染史是TACE 术后感染的极高危因素,前血清总蛋白值<60 g/L是高危因素,门静脉或腔静脉癌栓是中危因素。结论 腹水、肝胆手术史或术前有肝癌破裂出血、肝脓肿史或既往TACE术后感染史与TACE术后发生感染显著相关。
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