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针对大尺寸光学平面的直线度的纳米级测量精度需求,提出了倾斜入射下单截面平面度绝对检验方法,实现了对超过相移干涉仪口径的长平晶绝对检验。利用棱镜转向实现倾斜入射角度的精密预标定,棱镜标定角度的精度高于圆光栅和图像分析等方法,可提高测量不确定度到0.004 2μm。对比了常规三面互检绝对检验结果与本方法的差异,在相同尺寸下,直线度误差仅为1.2 nm。在确认标定反射镜位置后,整个倾斜入射的干涉图调整过程将被完全集中到待测长平晶的工作面上,不需要再对反射平晶进行操作。调整长平晶时各个维度的操作互不干涉,可快速简便地得到测量结果。 相似文献
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以偏高岭土为原料,分别以钠水玻璃和钾水玻璃为碱激发剂,制备地聚合物,并对两组地聚合物样品高温陶瓷化特性进行研究.地聚合物样品的XRD、线性收缩、气孔率和抗压强度分析表明,在800~1000℃时,两组地聚合物均呈无定形凝胶状态;1100℃开始,由于粘性烧结,K-基地聚合物开始形成稳定的白榴石陶瓷相,线性收缩达到最大值23%,气孔率达到最小值1.22%,抗压强度提高至47.76 MPa;Na-基地聚合物在1200℃开始出现霞石陶瓷相和大孔莫来石相,气孔率最小值为3.10%,最高抗压强度为34.78 MPa;1300℃开始,两组地聚合物三维网状结构均完全破坏并生成稳定的陶瓷相. 相似文献
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