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稀土金属抛光金刚石膜技术 总被引:11,自引:0,他引:11
研究开发了一种有效地抛光化学气相沉积金刚石厚膜的技术。该技术利用化学活性很强的稀土金属镧的金刚石的化学反应,在一定的工艺条件下可对金刚石膜进行有效的抛光。抛光绵高低与抛光温度有关,在温度大于900℃时抛光效率较高,可达34μ/h,表面度可从原来的Ra 12μm降至Ra1.6μm,如用于后续的精抛光,可大大光的时间和提高抛光效率,使表面十分粗糙的金刚石厚膜的精抛光能得以经济地进行。 相似文献
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本研究将ε-酞菁铜(ε-CuPc)按不同浓度分散在一种聚酯树脂(Vylon200)中,并布在铝板基上构成光导体。测试结果表明,这种光导体可用作正充电或负充电光导体,但在相同的有效充电电位下,即,在V-V_T(其中V_T为临界充电电位)相同的条件下,负充电的表面饱和电压高于正充电的表面饱和电压。当ε-CuPc的质量分数超过40%时,光导体的暗衰减速度过快;当ε-CuPc的质量分数低于20%时,暗衰减速度虽然得到控制,但光衰减速度太低,而且残留电位大幅度增高。ε-CuPc的质量分数在30~40%被认为是适当的。 相似文献
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本文介绍了静电照相的基本原理,考察了在光导体与基板之间和在光导体表面加入阻挡层,阻挡层材料及厚度对静电潜影的影响。 相似文献
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采用球环法研究了用大功率DCPlasmaJetCVD沉积的无衬底自支撑金刚石厚膜的断裂强度和断裂韧度,并试图探索其与原始显微组织特征(特别是晶粒度)的关系。发现CVD金刚石膜的强度和断裂韧度均远低于天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶。对于未抛光的试样,数据的离散程度掩盖了任何可能存在的规律性,而对于经过抛光的试样,研究结果表明与众所周知的PetchHal公式有相当好的吻合,说明细化晶粒仍然是提高CVD金刚石膜力学性能的有效途径。预先存在的内部裂纹是CVD金刚石膜强度低的重要原因之一。 相似文献
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