光电材料的俄歇电子谱分析

俄歇电子能谱(AES)是测定固体表面元素组分的分析技术。由于AES具有很高的空间分辨率和表面灵敏度,并可以通过离子束溅射刻蚀获得组分深度剖面分布,所以它在各种材料,特别是微电子材料、光电子材料和纳米薄膜材料的分析中应用广泛。文章详细地介绍了PHI595型多探针俄歇电子能谱仪及其在光电子材料分析中的应用。     

多晶硅层上外延生长高密度缺陷单晶硅

本文着重从晶体成核理论的基本公式和机理分析讨论了用汽相外延方法在多晶硅层上生长单晶的可能性及影响生长的因素,并用理论分析结果对实验现象作了解释。     

快速高质量Si拋光技术

本文介绍一种抛光速率快、表面质量高、对5i材料性能适应性强、抛光液可长期循环使用的抛光液及工艺技术。     

蓝绿光半导体光电子器件的研究与发展现状

综述了CaN和ZnSe两大系列半导体光电子器件的研究与发展现状,重点讨论了材料的生长方法,给出了器件发展的最高水平。     

若干种有机试剂对固定化酸性蛋白酶活性影响的初步研究

用海藻酸钙凝胶将黑曲霉产的酸性蛋白酶固定化,并研究了其若干性质。用4%的海藻酸钠与0.5%CaCl2制备的海藻酸钙凝胶将酶固定后,该固定化酶的活性回收率为33.33%。随浓度的增加,乙醇、丙三醇或SDS对这两个酶的抑制作用逐渐增强,而0～1.5mol/L盐酸胍、0～4mmol/L尿素却分别激活这两个酶。总之,固定化酸性蛋白酶对丙三醇浓度变化的敏感性较游离酶要大些,但对其它几种有机试剂浓度的变化的敏感性不及游离酶。     

晶圆预对准系统误差仿真分析

为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口在内的晶圆边缘完整数据的采集,并在此基础上采用目前较为常见的预对准算法对晶圆的偏心及缺口位置进行计算,再将计算结果与设定的实际晶圆偏心及缺口位置进行对比,得到计算误差.通过对不同条件下仿真结果的对比,系统地研究了晶圆预对准过程中各参数对其精度的影响规律,获得了与晶圆预对准误差的控制、标定及补偿相关的重要结论.     

Si片多重吸杂技术

本文介绍一种将磷吸杂、缺陷吸杂和多晶硅吸杂等吸杂机理综合应用的多重吸杂技术。     

基于学生伤害因素的关联规则挖掘

基于实际数据分析的管理和决策能够弥补简单主观经验主义的缺陷,该方法在高校学生安全工作的管理中越来越得到重视.笔者运用关联规则对收集的学生伤害数据进行研究,提出了"大学生伤害频繁项挖掘"等算法,并进行数据挖掘,获得了大量的关联规则及多个影响因素之间内在联系.同时发现关联规则数对可信度的变化比较敏感,多线程运行对提高程序效率非常有效.