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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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本文针对国网单相电能表在包装阶段所遇到的问题进行了梳理,并就自动化设备的导入及应用状况进行了阐述。 相似文献
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近几年来，由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献
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本文介绍了检测及使用国产增塑剂中发现的质量问题,探讨了影响其质量的因素。本文还简要介绍了现阶段国产增塑剂质量的总体状况。作者还根据经验,对不合格增剂剂的使用提出了相应的对策。 相似文献
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在对甲苯磺酸存在下 ,由马来酸酐和异戊醇合成了马来酸二异戊酯。当马来酸酐、异戊醇和对甲苯磺酸物质量的比为 1∶3∶0 2 ,回流分水 60min ,酯收率达 97 7%。 相似文献
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