粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件的性能

通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温△trea与气体浓度C存在关系△trea=(ACn)/(1+BCm)(其中A,B＞0,n＞m＞0),同时发现湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大;为确保测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体,同时注意稳定测试电压,如用相对灵敏度进行测量,则可以减小湿度对测量结果(测量值)的干扰.     

悬挂式气敏元件的热功耗和超低热功耗元件探讨

通过理论和实验相结合的方法提出了一个适用于悬挂式气敏元件的热功耗Ph/mW与工作温度T0,环境温度Tr及芯片尺寸S的关系式Ph={5.67×10-11[(T0)4-(T0)4]×0.85+0.21(T0-T0)}S(T0=aT0+bTr,a≈0.135,b≈1.0)并指出采用Si微电子薄膜技术可设计出功耗在10 mW以下的气敏元件.