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研究了采用感应耦合等离子体-原子发射光谱技术表征高剂量氧注入单晶硅制备SIMOX-SOI材料过程中金属杂质污染的有效性.同时研究了采用强酸清洗、加SiO2膜覆盖等方法对降低污染程度的效果.利用ICP技术可以对大面积或整个硅片进行采样,检测结果是一种整体的平均效果.采用强流氧注入机进行高剂量氧注入,发现金属杂质污染元素主要是Al、Ar、Fe、Ni;注入后强酸清洗样品可有效降低Al污染;60nm厚的二氧化硅注入保护膜可阻挡一半的上述金属污染. 相似文献
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本文扼要叙述了扩展电阻分析用以测量较低浓度砷的剖面的有效性,进而研究了较低浓度砷在硅中的扩散问题.由于通过快速热退火对样品进行预处理,排除了辐照损伤对扩散系数测定的影响,从而测得砷在硅中本来意义下,即替位扩散意义下的本征扩散系数.如所预期,这组数据比国外直至目前所测得的数据要低.浓度剖面的实验数据由非线性扩散方程的数值解进行拟合.结果表明:SUPREM III所采用的模型在较高浓度区扩散系数随浓度递增速率较小,Hu理论仍然和本实验(?)较符合.本文还求得了扣除辐照损伤增强扩散效应后,砷在硅中的激活能为4.42eV 相似文献
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本首先报道了清洁的Si(100)表面观察到L23VV条Auger精细谱线。经过短时间的电子束退火后又观察到能量为62.8eV和68.1eV两条谱线。前可以用Si-O系统L23(Si)L1(O)O1(O)的交叉跃迁来解释;后虽已有报道,但在解释上引起争议。本根据实验认为它与C在Si表面的吸附有关。 相似文献
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通过电特性测量,背散射分析和电子显微镜观察对快速热退火制备的样品,在450-850℃后退火过程中As在Si中的行为进行了系统的研究.结果表明,方块电阻的变化在750℃附近有极大值,低温区随温度而上升,高温区随温度而下降.样品的退道产额和方块电阻的改变单调相关.750℃附近可能存在一个临界区域,将退火过程归属于两类不同的机制.低温区域,硅砷化合物的形成和沉积占优势;高温区域,As原子空位复合的集团的形成占优势.在750℃/5小时的后退火过程中,大约有1/3As原子处于填隙位置,这种大量As原子析出的过程导致了Si晶格的收缩.大量的直径为500—700A 的位销环的形成是这种收缩的一种表现.至于As原子的析出如何导致Si晶格的收缩,其机制尚不清楚.但是Si原子在后退火过程中对晶格发生移位这一实验事实,动摇了质量作用定律作为集团模型的物理基础. 相似文献
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研究了采用感应耦合等离子体原子发射光谱技术表征高剂量氧注入单晶硅制备SIMOX SOI材料过程中金属杂质污染的有效性.同时研究了采用强酸清洗、加SiO2 膜覆盖等方法对降低污染程度的效果.利用ICP技术可以对大面积或整个硅片进行采样,检测结果是一种整体的平均效果.采用强流氧注入机进行高剂量氧注入,发现金属杂质污染元素主要是Al、Ar、Fe、Ni;注入后强酸清洗样品可有效降低Al污染;6 0nm厚的二氧化硅注入保护膜可阻挡一半的上述金属污染. 相似文献
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<正> 一、问题的提出和实验方法 在低能注入B~+浅结的过程中,沟道效应难以避免。为避免B~+注入的沟道效应,本文采用100keV下5×10~(15)cm~(-2)的Si~(29)注入n-Si<100>进行非晶化处理。继而进行了10keV,1×10~(15)cm~(-2)的B~+注入形成浅结,然后对样品进行快速热退火(RTA)处理,并观察界面缺陷的 相似文献
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不同剂量电子辐照对小麦品质影响的研究 总被引:11,自引:1,他引:10
研究结果表明,经过1-10kGy辐照后小麦基本营养成份没有变化。但是,经过5kGy和10kGy辐照的样品的布置和流变学特性、面筋指数和气味色泽明显变坏。为保持基本的营养品质,2.5kGy以上的辐照剂量不宜应用。 相似文献