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1.
Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极,刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数,进而控制坡度角和关键尺寸差,这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响,并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明:Al膜厚每减小60nm,坡度角下降约9°,关键尺寸差增加0.1μm。曝光工艺中,显影后烘烤会增加光阻粘附力,导致关键尺寸差减小0.1μm,同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中,过刻量每增加10%,坡度角下降3.3°,关键尺寸差增加0.14μm;正交试验结果表明,对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是:液刀流量Air Plasma电压水刀流量。经上述探究表明,坡度角和关键尺寸差呈负相关关系,刻蚀程度增加,关键尺寸差增加,而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。 相似文献
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干燥方法对超微枣粉品质的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了变温压差膨化干燥、中短波红外干燥、热风干燥和真空冷冻干燥4种干燥方式对超微枣粉品质的影响。结果发现:在物理特性方面,变温压差膨化干燥超微枣粉的色泽最好,中短波红外干燥和变温压差膨化干燥超微枣粉的粒径小,变温压差膨化干燥超微枣粉具有较好的溶解性,真空冷冻干燥法超微枣粉的堆积密度最大。在营养成分方面:4种干燥方法制备的超微枣粉的营养成分较鲜样均有不同程度的下降,变温压差膨化干燥、中短波红外干燥和热风干燥超微枣粉的总糖含量较高,总酸含量无显著差异;真空冷冻干燥超微枣粉的维生素C和黄酮含量显著高于其他干燥方法;真空冷冻干燥和变温压差膨化干燥有利于超微枣粉中环磷酸腺苷的保存。结论:变温压差膨化干燥超微枣粉的综合品质优于其他3种枣粉,该工艺生产效率高、成本低,是超微枣粉生产中较适宜的干燥工艺。 相似文献
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开元寺-天王殿是我国传统建筑中典型的单檐歇山唐式建筑,通过屋架体系设托梁-立柱的传统结构模型1与横向折梁受力的结构模型2,分析两个模型的周期比、最大层间位移角、配筋值等指标,结果表明按照模型2来设计能满足现行规范要求,给今后类似设计提供了新的可能性;考虑到屋面弦梁、枋梁空间交错,处于不同标高,使用YJK软件对结构进行了弹性时程分析与动力弹塑性时程分析,结果表明结构满足抗震设计规范的要求,能够达到“三水准”抗震设防性能的能力,不需要采用地震力放大系数;通过在动力弹塑性下的损伤分析,提出结构易损伤的部位。对天王殿结构在实际中存在的抗震不利部位,如场地抗震不利、室内外大高差、屋面交错节点、收分柱等,提出了有效的加强措施。 相似文献
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不同干燥方式对枣粉品质的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
通过对变温压差膨化干燥、真空干燥、热风干燥和真空冷冻干燥4 种干燥方式所得枣粉的物理特性和营养成分的分析测定,研究不同干燥方式对枣粉品质的影响。结果表明:在物理特性方面:真空干燥和真空冷冻干燥枣粉呈现较好色泽,真空冷冻干燥枣粉溶解性差于其他3 种枣粉,吸湿性无明显差异,变温压差膨化干燥和热风干燥枣粉复水性较好,真空冷冻干燥枣粉的粒径和堆积密度最小;在营养成分方面:4 种枣粉的营养成分较鲜样均有不同程度的降低,变温压差膨化干燥和真空冷冻干燥枣粉的还原糖和总糖含量相对较高,真空干燥枣粉总酸含量最高,真空干燥和真空冷冻干燥枣粉的VC和黄酮含量较高,真空冷冻干燥和变温压差膨化干燥枣粉的环磷酸腺苷含量稍高于其他两种。枣粉的综合评分结果显示,真空冷冻干燥枣粉品质最佳,其次是真空干燥枣粉和变温压差膨化干燥枣粉,热风干燥枣粉品质最差。真空冷冻干燥和真空干燥生产成本高,变温压差膨化干燥枣粉品质较好,且所需干燥时间短,生产效率高、成本低,适宜在枣粉加工产业推广。 相似文献