一种微小型磁矢量传感器设计

文章介绍了一种微小型磁矢量传感器设计。该传感器的检测单元包括两个磁敏感单元和一套信号处理系统。磁敏感单元采用MEMS技术制作,具有体积小、集成度高等特点。信号处理系统通过对两个磁敏感单元对空间地磁信号进行采集,并通过对磁敏感单元的信号数据处理,有效地改善了传感器的非线性和噪声,提高了传感器的灵敏度和线性度。对采用MEMS技术制作的微小型磁矢量传感器进行性能测试,测试结果表明:该传感器的灵敏度优于100pT/Hz1/2,线性误差≤0.1%。     

一种电容式应变传感器设计

文章介绍一种通过电容变化探测应变信号的传感器。该传感器主要通过改变电容极板间的面积来获得电容值的变化,从而测量应变量。为保证传感器在工作中有较大的电容值变化量,设计一种双电容结构,保证传感器的灵敏度,该传感器的检测单元包括一个动极板、两个定极板和一个电路组件。