基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计

为了进一步提升市面上自动化测量传感器的应用效果，简述了自动化测量传感器的工作原理。以真空微电子压力传感器系统为例，从结构设计、仿真模拟、研制工艺设计、固相键合工艺流程以及性能测试几方面对基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计方案进行了详细分析。提出了一种微电子技术以及真空电子技术研发一种真空微电子压力传感器的方法，其构成包括真空微腔、绝缘层、弹性阳极膜等，具有实际应用优势，如能够支持批量生产、体积较小、灵敏度高、响应速度快、抗辐射性能好以及稳定性高等。所提方法对微电子传感器领域的发展具有一定的参考价值，应用市场较为广泛，未来发展前景较好。