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利用多靶磁控溅射设备交替沉积Cr、Ti和Si层,并通过随后的真空退火处理,制备了掺杂Ti的CrSi2薄膜。交替沉积薄膜500℃退火2h,薄膜中除含有(Cr,Ti)Si2相外,还有部分残留的沉积Si相和少量反应生成的CrSi相;退火时间增加,沉积Si相和CrSi相减少而(Cr,Ti)Si2相增多;500℃退火6h及以上时,薄膜中仅有(Cr,Ti)Si2相。测量薄膜X射线衍射峰半高宽,利用谢乐公式估算薄膜平均晶粒尺寸表明,退火时间从2h增加到8h,薄膜中(Cr,Ti)Si2相晶粒尺寸由68nm近似线性增加到81nm。退火获得的(Cr,Ti)Si2薄膜具有纳米结构和(111)面单一取向。随着掺杂Ti原子分数的增加,薄膜X射线衍射谱中(Cr,Ti)Si2(111)晶面衍射角逐渐向低角度方向移动,这反映(Cr,Ti)Si2相的晶格常数a和c逐渐增大。晶格常数的变化与掺杂Ti的原子分数近似呈线性关系,这是结构中半径较大的Ti原子替换半径较小的Cr原子所造成的。计算分析显示,单晶Si(100)上(Cr,Ti)Si2(111)晶面外延生长是它们的界面晶格畸变能较低的结果;Ti原子分数增加,(Cr,Ti)Si2薄膜的(111)晶面择优取向程度下降。 相似文献
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柳晓彤 《中外葡萄与葡萄酒》2011,(12)
说起智利葡萄酒,人们首先会想到“新世界”这个词,其实智利是新世界里的老世界,可以说智利葡萄酒的历史在新世界酒产区里是最悠久的.智利葡萄栽培起始于1518年,当时的西班牙传教士在圣地亚哥周边种植葡萄,以提供教会做弥撒用的葡萄酒.1877年,由于欧洲受根瘤蚜( Phylloxera)危害而缺乏葡萄酒供应,智利开始出口葡萄酒到欧洲,以其优秀的品质,迅速全面地打开了欧洲市场. 相似文献
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