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面向IC制造的净化机器人 总被引:4,自引:0,他引:4
针对集成电路制造中环境洁净度与硅片传输任务的需求,提出了一种由径向直线伸缩机构以及旋转、升降运动模块组成的新型三自由度R-θ型净化机器人.该净化机器人采用两组行星轮系组合来实现关键的径向直线伸缩运动,并合理配置密封来实现上述需求.通过运动分析给出了实现径向直线伸缩运动的必要条件,进行了净化机器人的运动学与动力学分析.同时采用交流伺服电机作为驱动元件,基于MPC02运动控制卡作为上位控制单元构建了开放式控制系统.实验研究表明该净化机器人具有较高的速度、重复定位精度与应用洁净度. 相似文献
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在泉城济南,有一位安静平和的造物者,沈宝宏。他是在一茶一蔬中追求美与仪式感的生活家;是祖传第六代的木匠;是在制作工艺上追求极致的偏执狂。他认为设计师最重要的一点就是独立性。木匠世家出身,二十多年的室内空间设计经历,长年累月对中国传统艺术地研究,在沈宝宏身上 相似文献
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叙述了一种二维数控机构,即在空间二维上同时实现旋转运动的机构技术与对应的控制技术.分析了该机构的结构方式、工作机理;以及控制方式的选用、程序设计.展示了该机构与控制技术在喷水装置中的应用.该技术对于同类的运动实现具有重要的参考意义. 相似文献
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设计说明:静,禅思椅,造型没有遵循古制,设计上更注重内在精神意境上的传达。上半部分透过半圆形曲线的圈背与扶手融合一气,好像圈抱着一虚无的球体,有着艺术意境里的圆融与浑圆之美,充满着包容的智慧。而腿部纤细但富于张力的线条与座面夸张的尺度相对比,喻意着内心的强大才能做到真正的收放自如。 相似文献
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