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2.
电弧离子镀CrSiN薄膜的内应力控制与厚膜化 总被引:1,自引:0,他引:1
采用电弧离子镀技术在不锈钢SUS440C基片上沉积了CrSiN薄膜,并在此基础上通过引入Cr应力缓和层制备了CrSiN/Cr多层薄膜,研究了Cr应力缓和层对缓解CrSiN薄膜内部应力、增强膜基结合力、提高薄膜沉积厚度的作用.利用X射线衍射仪及sin2ψ法测试计算了薄膜的内部应力、采用扫描电镜及透射电镜观察了薄膜的显微结构,采用微米划痕仪测试了膜基结合强度.结果表明:20~30nm极薄Cr层的导入,缓解了CrSiN薄膜内部应力的积累,降低了薄膜整体的内部应力,选择合适的Cr层数,最大可降低内部应力1/2.CrSiN/Cr多层膜仍保持了原有的连续柱状晶生长模式,CrSiN层与Cr层间,界面完整清晰,Si-N非晶部分缓解了CrSiN中CrN晶格与Cr层中Cr晶格间的失配,使得层间结合紧密牢固.划痕仪测试结果表明膜基结合强度与薄膜内部应力呈现出高度的相关性,Cr应力缓和层的导入改善了薄膜的膜基结合力、提高了薄膜可沉积厚度. 相似文献
3.
为分析矿井充水水源水质特征,为判别突水水源提供理论依据,将多元对应分析方法应用于潘一煤矿各含水层水质特征区分以及同一含水层内垂向上水质变化的分析,并将分析结果和Piper图进行比较,结果表明:多元对应分析法可以分析水样样本之间、水质指标之间和样本与水质指标之间的关系,取得了比Piper图更好的分析效果;该方法很好地解释了矿区充水含水层的水质特征以及二叠系煤系砂岩裂隙水受新生界下含水的影响及其水质变化特征;分析结果与矿区水文地质条件相吻合. 相似文献
4.
阳极线性离子源辅助磁控溅射沉积氮化钛薄膜的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用阳极线性离子源辅助磁控溅射技术,通过改变氮气流量以及离子源功率,在低温(150℃)条件下以不锈钢为基体制备了氮化钛薄膜.采用X射线衍射技术、显微硬度计、球盘式摩擦磨损仪、压痕法研究了薄膜的结构、硬度、耐磨性和结合强度,结果表明,采用阳极线性离子源辅助磁控溅射法在150℃低温条件下能制备出具有良好特性的金黄色的氮化钛薄膜.当氮气流量为20sccm、离子源功率为300W时,制备的薄膜硬度达到2039HV,且薄膜的耐磨性与结合强度最佳.离子的轰击作用使薄膜的力学性能得到了较大改善. 相似文献
5.
6.
潘婧 《武汉冶金管理干部学院学报》2010,20(4):37-38,66
自《行政诉讼法》施行的二十年以来,我国行政司法监督体制在司法实践的过程中遇到了如司法机关独立性不够、权威性不高、保障性不强、制度性不严等种种困境。本文将重点分析造成行政司法监督体制出现这种困境的原因。 相似文献
7.
信号自适应控制器是基于STC12C5A60S2单片机的嵌入式系统,系统的设计包括硬件电路设计和软件程序设计两个部分。硬件电路设计包括电源模块、信号采集模块、单片机运算控制模块、电流输出模块以及继电器控制输出模块等模块的电路实现,给出了主要电路模块:电源模块、继电器模块和电流输出模块的电流原理图。软件程序设计主要包括:模数转换、EEPROM的读写、定时器功能、数据运算、模式切换、PWM信号发生等功能的软件实现。还对本系统进行了测试,并对测试数据进行比对分析,结果表明,该信号自适应控制器满足船舶控制系统的使用需求,成功实现了对船舶控制信号的衰减补偿。 相似文献
8.
结合国内环境条件、运行状况和管理水平等实际情况,对长输气管道指数法风险评价体系进行修正,并举出了应用实例. 相似文献
9.
类金刚石膜(DLC)的应用探究 总被引:1,自引:0,他引:1
通类金刚石膜是一类性质类似于金刚石的具有多项优质性能的新型膜材料,它的面世是人类膜材料科学的一大进步。由于类金刚石膜的高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数及生物相容性,适合于多个领域的应用,同时类金刚石膜的制备方法简单,使其引起人们的广泛关注。本文在概述了类金刚石膜的发现、结构和制备方法后,着重描述了多层类金刚石膜在机械、光学、医疗、电子、航天等领域的应用,最后指出它的研究现状和发展前景。 相似文献
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