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多晶硅薄膜的性质与膜的结构有密切关系。界面结构主要指晶粒尺寸、择优取向及其结构。多晶硅薄膜的结构主要由沉积条件、膜厚、掺杂条件和后来的退火温度和退火时间所决定。本文讨论了用常规低压化学汽相淀积(LPCVD)方法制备的多晶硅薄膜的结构特性,初步获得了提高多晶硅压力传感器灵敏度及其温度稳定性的条件。 相似文献
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介绍利用AutoLisp语言编程实现硅压力传感器版图自动生成的CAD系统,并给出C型压阻式压力传感器版图的设计实例。 相似文献
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文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺,同时,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明,并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。 相似文献
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微机械差动电容压力传感器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
文中介绍以N型单昌硅为基底,利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。 相似文献
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实际工程勘探中传感器通称检波器,常规的加速度和速度型传感器的检测量是静态参数,而石油勘探等领域检测的是动态参数,也就是频率和波形。MEMS检波器主要动态参数有:频率响应也称频率范围、失真系数、动态范围。本文主要研究MEMS检波器动态参数及测试方法,通过对地震勘探MEMS检波器进行动态性能分析,介绍频率范围、失真度系数、动态范围的测试方法,实际的测量结果证明了测试方法的正确性和可行性。 相似文献
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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器,它采用光通信用多模光纤,利用IC工艺中的光刻和化学腐蚀等技术,在硅片上出传感器的整体结构,这种传感器的结构简单,测量方便,重复性好,成本低,有深入研究的价值。 相似文献