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1.
基片负偏压增加,使等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的相组成朝着富氨相及其含量增加的方向发展,由Ti2N和TiK两相组成的涂层硬度最高,可达Hk2460。切削力测定表明,由Ti2N和TiN两相组成的刀具涂层使切削力略有下降。涂层能明显提高刀具耐用度。 相似文献
2.
3.
刀具TiN涂层工艺与切削试验 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层工艺,膜层组织结构和性能;研究和基片负偏压和靶功率对膜层组成和性能的影响;探讨了Ti2N对膜层的强化作用,结果表明,由Ti2N和TiN的两相组成的恨具涂层具有良好切削性能。 相似文献
4.
建立气中微细电火花沉积加工过程电极材料的热物理模型。利用有限元分析软件ANSYS对单脉冲条件下的工具电极和工件的瞬态温度场进行数值模拟,分析热源形式、初始边界条件和放电能量分配对工具电极和工件材料蚀除形式的影响,并预测适合微细电火花沉积加工的工艺参数。采用仿真预测得到的工艺参数,在高速钢工具表面稳定沉积出直径约200μm、高度约1.2mm的微圆柱结构。对沉积材料微观组织结构的测试分析表明,沉积材料与基体结合紧密。工艺实验和测试分析证明了所建立的微细电火花沉积加工过程的单脉冲放电热物理模型和有限元求解过程的正确性。 相似文献
5.
基片负偏压对PEMSIP法高速钢基体TiN涂层结合的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用等离子体增强控溅射离子技术,在高速钢基体上沉积TiN之前先镀一层很薄的钛膜做界面膜,继之再沉积TiN,利用能谱分析研究界面附近的元素成布,通过刻痕试验测定膜与基体之间的结合力。结果表明,沉积钛界面膜时基片负偏压愈大,基体与界面膜之间的过渡区就愈明显,膜与基体结合性能愈好。 相似文献
6.
7.
利用等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)技术在铁基体上沉积TiN涂层之前,先镀一层很薄的钛中间层,继之再沉积TiN。研究了基片负偏压对涂层相组成的影响。结果表明,随着基片负偏压增加,膜层的相分朝着富氮相及其含量增加的方向发展,变化趋势为(α-Ti+Ti_2N+TiN)→(Ti_2N+TiN)→TiN。在基体与中间层界面处有FeTi相;在中间层与后继膜的交接处,发现α=1与Ti_2N有取向关系。 相似文献
8.
9.
10.
本文介绍了等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)TiN涂层技术的工艺、涂层组织结构和性能。试验研究了靶功率和基片负偏压对涂层相组成和性能的影响规律,探讨了Ti2N对涂层的强化作用。试验结果表明,由TiN2和TiN组成的涂层硬度比较高,Ti2N和TiN双相刀具涂层显著提高刀具寿命。 相似文献