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1.
采用低压化学气相淀积(LPCVD)非晶Si填槽工艺代替LPCVD多晶Si填槽工艺,对沟槽绝缘栅双极型晶体管(IGBT)器件的沟槽进行非晶Si回填,研究并优化了高深宽比非晶Si填槽工艺.分析了LPCVD非晶Si工艺参数如PH3体积流量和沉积时间等对LPCVD非晶Si填槽能力的影响,通过调制P掺杂浓度和优化非晶Si淀积时间,得到槽底侧壁与槽口侧壁非晶Si厚度差值为0.022 μm的基准非晶Si填槽工艺,优化了LPCVD非晶Si反复多次填槽工艺条件.结果表明,采用优化后的工艺可实现沟槽栅IGBT器件沟槽非晶Si无缝回填,器件的栅极电阻降低了0.150 Ω,漏电流降低了1.408 nA,成品率提升了0.4%.  相似文献   
2.
辣椒豆瓣是四川的一大名特产,又是川菜的主要调味料,四川地区的各个酿造厂都生产,其生产方法都大同小异。即以蚕豆瓣制曲,进行前期发酵,加入粉碎的鲜辣椒或辣椒坯,再经后期发酵,制成成品辣豆瓣。整个生产过程以自然发酵、日晒夜露为主,生产周期长,设备不规范,工人的手工作业多,劳动强度大,卫生条件差,产量也不稳定。为解决上述问题,扩大辣豆瓣的产量,保证消费者的需要,我厂对辣椒豆瓣的生产工艺设备进行了多年的研究,1990年研制成功了BRJ 辣椒豆瓣酿造工艺设备,经过两年的生产实践证明,该设备成功地解决了传统型辣椒豆瓣生产工艺存在的问题。  相似文献   
3.
河涌区域特殊的水文地质条件对地下室结构和建筑外墙的抗渗影响巨大。该文主要根据实际工程案例分析了河涌区域下地下室底板及外墙面临的主要渗水问题,提出适用于河涌区域下地下室底板及外墙的抗渗技术方案,并详细阐述了其施工流程与要点。该方案注重防水材料与结构设计的有机结合,旨在提高地下室结构的整体抗渗性能。研究结果表明,该技术方案在实际应用中,有效降低了渗水风险,提高了地下室的安全性和使用寿命。该文研究成果对河涌区域地下室抗渗技术的发展具有积极推动作用,为类似工程提供了有益的参考和借鉴。  相似文献   
4.
房建工程作为建筑行业的重要组成部分,对促进社会创新发展、提高社会经济效益具有十分重要的作用。混凝土浇筑是房建工程中的重要环节,直接影响整体工程结构的稳定性和安全性。同时,受到施工工艺不规范操作及季节性等诸多不确定因素的影响,极易导致施工质量难以达到整体工程建设的标准,甚至造成更严重的后果。本文从混凝土浇筑的施工条件及工艺流程入手,通过具体工程案例分析混凝土浇筑施工技术在房建工程中的实际应用问题,以期为全面提升房建工程建设整体结构质量提供理论依据。  相似文献   
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