晶圆工作台运动精度数据采集及处理

本文采用光栅尺、数据采集卡以及开发的测量软件建立了一个粘片机晶圆传送精度检测系统.该系统通过在运行过程中适当设置采样频率和剔除冗余数据以获得有用的数据,并经过数据处理完成工作台的送片精度测量.     

高速贴标机进瓶螺旋的设计与造型

将高速贴标机进瓶螺旋设计为变螺距三段式螺旋,以50000瓶/h的机型为例进行了计算,首先为等速段,然后通过变加速段解决加速度突变带来的冲击,最后为等加速段。给出了利用Matlab绘制的进瓶螺旋运动曲线,提出了用Matlab编程计算螺旋槽上的点,结合SolidWorks实现进瓶螺旋三维造型的方法。     

网架式底座拓扑加固研究

对随机受力的框架式底座进行加固.在假定的较具代表性的两种工况下进行有限元拓扑优化,底座加固为网架式.对比若干加固方案,抑制了机架振动.     

芯片封装设备焊头柔性铰直线缓冲结构的设计

焊头是IC芯片粘片机的关键部件,焊头上的吸嘴将晶圆上的芯片吸起,传送并压焊到引线框架上.在取芯片和焊芯片瞬间,吸嘴要对芯片施加压力.为了保证吸嘴和芯片快速接触时不会对芯片造成破坏性冲击,焊头机构除了应具有精密的结构和精确运动控制外,焊头本身也要有良好的缓冲功能和具有一定的刚度.提出一种焊头柔性铰直线缓冲结构,讨论柔性铰结构的原理和分析结果,通过实验验证该结构是合理可行的.     

IC芯片粘片机焊头柔性铰直线缓冲机构的设计

讨论了柔性铰直线缓冲机构的粘片机焊头,阐述了它与传统粘片机焊头相比较所具有的优点,推导了设计其弹簧结构的近似计算公式,运用SolidWorks有限元软件中Cosmos对焊头的位移及应力进行校核,得出了一个系列化的规格尺寸.