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针对步进扫描光刻机运动控制系统调试和运行,提出了一种运动控制算法可重构的机制,实现运动控制算法和关键参数的在线修改;对比分析了不可重构与可重构运动控制软件的设计流程,指出了可重构的优势;为运动控制代码传输设计了VME总线通道并用FPGA实现总线接口,确保运动控制指令的高速稳定传输;设计了运动控制器运算核心DSP的外部接口和运行方式,确保运动控制算法的可控运行;实验结果表明DSP代码可从上位机下载运行,控制系统能灵活的重构运动控制算法,长时间运行稳定,大大提高了光刻机工件台控制系统调试的工作效率。 相似文献
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近年来,随着化工、冶金等行业的装备升级和技术升级以及小型制氧、制氮装置发展,低露点、小流量干燥空气及其制备装置的需求愈加广泛,组合式低露点空气干燥机具有节能、环保、安全性好、占地面积小、投资及运行成本小等特点,中盐红四方合肥化工基地就采用了数台此种空气干燥机,用于制氮、制氧及仪表、干燥、输料、吹扫等工艺用气,运行1年来,取得了良好的技术经济指标。现就该种机型的安全及运行维护要素做如下分析。 相似文献
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手机响起,又一次是家具推销员的电话。 设计师的我们,仅仅进驻了一家才200平方米大的办公室。自从在物业登记后,每天要响起好几个询问有关家具的电话。 相似文献
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针对间歇过程固有的多阶段特性,也为了克服传统阶段划分方法严格按照物理时刻顺序将采样点硬性分割而不能使其寻找数据特征最为相近的聚类中心的严重缺陷,提出基于仿射传播聚类(AP)的子集多向主元分析(subset-MPCA)监测新方法:采用全新的乱序聚类思想,将时间片矩阵打乱用AP进行无约束乱序聚类,使样本突破时间顺序的约束自由找寻与其特征最为相近的聚类中心,获得聚类子集,建立精确的子集MPCA监控模型。在线监控时,引入信息度传递实现实时采样点的阶段归属判断,解决阶段不等长批次的最佳模型选择问题。对青霉素仿真数据的实验表明,该方法较传统方法可有效降低故障的漏报和误报,有着更加可靠的监控性能。 相似文献