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磁控溅射工艺控制模式比较 总被引:1,自引:0,他引:1
对各种磁控溅射的工艺参数控制技术进行比较,分析各自的特色,并指出光学厚度监控对于制备精密光学多层膜的反应溅射工艺的重要性. 相似文献
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对各种磁控溅射的工艺参数控制技术进行比较 ,分析各自的特色 ,并指出光学厚度监控对于制备精密光学多层膜的反应溅射工艺的重要性 相似文献
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对各种磁控溅射的工艺参数控制技术进行比较,分析各自的特色,并指出光学厚度监控对于制备精密光学多层膜的反应溅射工艺的重要性. 相似文献
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分析房屋结构设计执行规范及应用计算方面存在的、最基本应注意的几个问题,并提出一些看法及如何执行规范,确保工程设计质量.提醒工程设计人员、设计企业加以重视,建立完善的设计质量保证措施、制度,避免人为过错的出现. 相似文献
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