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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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伴随人类在航天领域的活动不断拓宽以及航天应用的日趋多样化,要求从人造卫星、轨道服务飞行器到空间平台、空间站等空间基础设施都必须是多功能、高性能化的系统。这些空间基础设施,比如由美国牵头,有美、俄、欧空局(ESA)、日本、加 相似文献
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<正> 1991年,是山东潍坊纯碱厂生产形势进一步好转,纯碱质量全面提高,节能降耗工作取得显著成绩的一年:全年纯碱优级品率保持100%,纯碱生产成本由年初的790元/吨下降到年底的620元/吨(不含折旧、大修费),并在10月份获得了山东省优质产品的同时,又顺利的通过了国家生产考核。1991年,山东潍坊纯碱厂重视技术进步 相似文献
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电流模技术与电流模电路清华大学电子工程系(100084)高文焕李冬梅电流模技术是指电流模集成电路的理论基础、电路设计、制造及应用技术。它是与高速集成工艺相伴发展的新兴技术。用电流模技术设计的模拟集成电路速度快、精度高、频带宽、线性好,可以说是模拟集成... 相似文献