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批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性. 相似文献
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极少主义缘起于20世纪50年代中期的美国ABC硬边艺术,产生的直接原因是为了反对当时画坛崛起的抽象表现主义和波普主义.随后,这场新的艺术运动影响到了整个设计艺术领域.其中,在室内设计界就出现了“光洁派”(又称极少主义),它旨在运用现代材料和现代加工工艺,对空间进行简 相似文献
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采用双示踪测井技术进行注入剖面测井,可以有效消除同位素微球沾污管柱、进入大孔道地层等对传统同位素微球示踪测井资料的影响,准确反映层段吸水情况。双示踪测井技术一次下井可获取井温、放射性示踪流量和同位素测井资料,通过井温资料定性判断吸水层,利用示踪流量测井资料确定各层绝对吸水量,由同位素测井资料确定吸水层的吸水厚度,3种方法结合提高了注入剖面测井解释成果质量。该方法在华北油田注入剖面测井中得到了广泛应用,取得了很好的效果,提高了注入剖面解释成果的准确率,为调整开发方案和工程作业提供了可靠依据。 相似文献
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