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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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本文介绍了黄石有线在高清互动平台运用大数据获取直播频道收视率的方法,并结合数据分析的手段,推断用户行为,发现内在规律,摸索观看习惯,从而对网络公司的市场营销和经营决策提供有价值的数据参考。 相似文献
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蔡剑锋 《信息安全与通信保密》2006,(9):142-144
论文通过对病毒及反病毒技术的发展分析,总结了现有一些较优秀的杀毒软件的优缺点,提出了基于新理念的攻防查杀型杀毒软件的实现模型。 相似文献
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近几年来,由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献