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衬底同步加热溅射BST薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种衬底同步加热射频磁控溅射制备BST(BaxSr1-xTiO3)薄膜的新方法,讨论了BST薄膜的晶化效果对介电常数的影响,分析了薄膜的居里温度和εr-V铁电性能.XRD测试结果表明制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿晶体结构,相对介电常数超过150,介质击穿强度大于1.3 MV/cm.使用这种方法不需要专门的退火工艺,就可以制备晶体结构完整的高介电常数BST薄膜. 相似文献
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介绍了BST压电陶瓷靶的烧制方法,使用添加剂改善了Ba0.6 Sr0.4 TiO3 靶材的结构和性能,解决了BST靶材热稳定性差的问题,同时优化了BST靶材的晶化效果,提高介电性能.实验通过XRD衍射和P-E试验分析了所制BST溅射靶的微结构和铁电特性. 相似文献
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相对介电常数大于100的BST(钛酸锶钡)薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
南京电子器件研究所采用 RF磁控溅射法成功研制出室温下相对介电常数高于 1 0 0的 BST薄膜。采用具有自主知识产权的工艺技术制作了大直径 BST溅射靶材 ,用这种靶材制作 Pt/BST/Pt薄膜电容 ,在 Si/Si O2 衬底上溅射 BST,其膜厚典型值 2 80 nm。该技术采用了在 RF磁控溅射 BST时 相似文献
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给水管网管道摩阻校正方法研究 总被引:4,自引:1,他引:4
为了提高给水管网管道摩阻系数校正的稳定性和惟一性,提出了新的摩阻校正方法.当节点流量已知时,分析节点压力受管道摩阻变化影响的敏感度矩阵,在敏感度较大的节点上收集校正数据;对大敏感度管道单独校正、对其他管道进行分组校正,从而减少了校正变量的个数;模拟管网的多工况运行,收集足够多的校正数据;将管道摩阻系数的经验估计值引入到蚁群算法的优化计算过程中,提高优化计算的收敛速度.算例分析表明,采用上述方法校正的给水管网水力模型在实际应用中得到的节点压力值与实际节点压力值更为匹配. 相似文献
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城市缺水将制约城市的发展,通过研究水价改革的几个相关问题,为杭州市有关决策部门制定合理水价改革方案以解决城市用水矛盾提供参考。 相似文献
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CIMS是当前工业综合自动化的总趋势,而实现CIMS的关键技术之一是企业计算机网络。本文从CIMS工程的要求和企业建网的一般经验出发,阐述了CIMS中通信网络设计的原则和步骤。 相似文献
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汽车电动助力转向技术分析 总被引:5,自引:0,他引:5
简述汽车电动助力转向系统的研究现状,介绍电动助力转向系统的基本结构与工作原理,对电动助力转向系统的主要元件和其性能进行了分析研究,并展望了电动助力转向技术的发展前景。 相似文献