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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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室内装修装饰能极大地满足人的生理、精神上的需求,能体现人的个性和健康的化艺术修养。随着新材料、新工艺的推出,给住宅注入了富丽和时尚。但是,现代装修装饰的“格式化”已成为人们普遍热衷追寻的审美定律。越是现代的,就越使人们去跟从、去模仿。比如有的住宅空 相似文献
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有人将大自然比作是人类生活的第一环境,建筑是第二环境,室内设计就成为人类生活的第三环境。近年来,人们对“第三环境”的审美要求普遍提高,既讲究人体生理功能之需,又要求满足人体心理因素。空间室内装饰从卧室、客厅延伸到对卫生间的精心设计包装,以致形成一个完善的配套组合空间。 居家卫生间装饰在一些发达国家的家庭里是很受重视的,投资比较大,侧重于享受型和保健型。卫生间面积大到15平方米,里面还设置健身器材。随着人类文明的进化,人们普遍认为:卫生间内的浴缸等洁具设备不再局限于洗澡的单一功能,而是象一套“理疗器械”那样,人体带着疲劳状态进入卫生间,以轻松舒适的精神状态而出,有利于人体的生理保健,这才是真正理想的卫生间设置所起的作用。现在一些发达国家和地区的家庭装饰就已经具备了保健型的装饰设置,如“按摩浴缸”、“冲浪浴缸”、“桑拿浴”、“芬兰浴”等等,将卫生间视作洗 相似文献
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针对通信系统中基带调制的多模式的需求,基于软件无线电原理,用FPGA设计了一种可实现2ASK、2FSK、BPSK三种调制模块,在Quartus II环境中利用VHDL语言完成了芯片程序的设计,并对其进行了仿真和功能测试,实验结果验证了用FPGA可快速实现2ASK、2FSK和BPSK基带调制功能,调制信号稳定可靠,可以用软件来控制调制方式,系统方案正确可行,而且具有良好的稳定性和灵活性. 相似文献
8.
载体的姿态参数是导航系统重要的影响因素,为提高姿态角测量精度,以INS和GPS紧组合导航系统为研究背景,针对无迹Kalman滤波算法对误差模型较敏感、新息噪声干扰数据需预处理、算法实效性低等缺点,提出改进的自适应无迹Kalman滤波算法.首先,用自适应窗口在线估计系统噪声和量测噪声的协方差值,得到与实际噪声更贴近的统计特性,减小数据预处理的干扰;其次,对状态预测方差阵引入次优渐消因子减少计算量,同时为了减少模型的精度损耗,对滤波过程引入统计量,确定模型不确定性检测阈值;最后,用扩展Kalman滤波、无迹Kalman滤波和改进后的新滤波算法对无人机航向轨迹进行数据处理.结果分析可得,改进的滤波融合算法能将姿态的测量精度提高到0.1°,具有更强的收敛性,能较好地抑制漂移误差. 相似文献
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光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器,目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、马赫—曾德等干涉仪的核心部件都包含3 dB耦合器。3 dB耦合器的设计对光波导加速度传感器的检测精度尤为重要。介绍了所设计的光波导加速度传感器的工作原理,设计了3 dB耦合器波导的结构和参数,并用光学模拟软件OptiBPM对3 dB耦合器进行模拟。结果表明:所设计的3dB耦合器具有良好性能,符合设计要求。 相似文献
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