新一代全方位离子注入及增强沉积工业机

本文报告了核工业西南物理研究院最近研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机。该机直径 90 0 m m,高 10 5 0 m m,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了 PL C控制 ,本底真空小于 4× 10 - 4Pa。气体和金属等离子体可分别由热阴极放和三个高效磁过滤式金属等离子体源产生。真空室顶部预留了法兰口并配有冷却靶台。该机的负高压脉冲幅值为 10～ 80 k V,重复频率为 5 0～ 5 0 0 Hz,脉冲上升沿小于 2 μs,并且可根据需要产生脉冲串。一般地等离子体密度为 10 8～ 10 1 0 cm- 3,膜沉积速率为0 .1～ 0 .5 nm/s。文中亦报道了一些实验结果     

全方位离子注入及增强沉积工业机和应用

报道了等离子体源离子注入 (PSII)或等离子体浸没离子注入 (PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用。该机真空室直径 90 0mm ,高 10 5 0mm ,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制 ,本底真空小于 4× 10 - 4Pa。等离子体由热阴极放电或三个高效磁过滤式金属等离子体源产生 ,因此可实现全方位离子注入或增强沉积成膜。该机的负高压脉冲最高幅值为 80kV ,最大脉冲电流为 6 0A ,重复频率为 5 0— 5 0 0Hz ,脉冲上升沿小于 2 μs,并且可根据需要产生脉冲串。其等离子体密度约为 10 8— 10 10 ·cm- 3,膜沉积速率为 0 .1— 0 .5nm/s。     

浅析科学管理在工程实践中的应用

郑州市柿园水厂始建于1954年．建厂初期受当时的技术条件和经济状况的制约．按照当时国家要求的水质标准进行设计的生产工艺已满足不了新的水质标准要求。为了提高出厂水水质．保证市民饮用安全、优质的自来水．总公司投资对柿园水厂进行全面改造。     

微电解法去除地下饮用水中铁锰试验研究

针对地下饮用水中铁、锰超标问题,采用直流微电解装置进行了去除水中的铁、锰的试验研究。试验装置为总容积约为100L的电解槽,采用60V直流电压,以高纯石墨板为电极,分别设置电极板块数为9块、5块、3块、2块4个处理,在通电时间分别为0h、3h、6h、9h、12h后采样,检测水中的铁、锰含量并记录耗电量。结果表明:微电解法对铁、锰均具有较好的处理效果;直流电压一定的条件下,电极板块数越多对铁、锰的去除效果越好。     

郑州市市政给水管道工程现状及建议

随着我国现代化进程的发展,全国城市化水平在不断提高,近年来,郑州市城市建设发展迅猛,城市框架持续拉大,城市规模急剧增加,大规模的城市建设带来了给水管道项目的不断增加,同时也大大加剧了市政工程建设的压力和风险。现就郑州市给水管道工程的特点、工程现状、工程风险等问题作出分析和建议。     

2011—2020年农产品重金属检测能力验证结果及质量控制关键点分析

目的 总结分析2011—2020年农产品重金属检测能力验证结果及质量控制关键点.方法 对2011—2020年农产品重金属能力验证总体情况、存在问题以及发展趋势进行了总结分析,并对其关键控制点和技术要点进行了探讨.结果 2011—2020年参加单位逐年增加,2011年参加单位51家,到2020年增加至210家,年均增加3...     

试析混凝土裂缝控制及处理

某高层建筑为框架-剪力墙结构，建筑面积为8万平方米，建设高度为130米，属于一类建筑．抗震设防裂度为(近震)7度，建筑抗震设防类型为丙类，场地土为2类中硬地土，沿整幢建筑四周设有抗沉降后浇带。     

桑叶叶绿素锌钠盐的制备及其稳定性研究

利用桑叶制备叶绿素锌纳盐溶液,并对其稳定性进行研究。经过研究得到结论:叶绿素锌钠盐水溶性较好,耐热性、耐氧化还原性、pH为4.00～11.00时的稳定性较好,但光照条件下,稳定性较差。常见的食品添加剂(蔗糖、葡萄糖、食盐、柠檬酸)和一些金属离子(Al~(3+)、Ca~(2+)、Na~+、Mg~(2+))对叶绿素锌钠盐的稳定性无影响,而Cu~(2+)、Fe~(2+)对叶绿素锌钠盐的稳定性有较大的影响。